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ZP200是一个用于垂直(Z轴)定位的精密平台,同时保持X-Y轴的完整性。 ZP200采用方形轨道轴承的楔形配置,以及高精度滚珠丝杆,提供快速的的动态响应性能。 ZP200的最大垂直行程为25 mm,与用于多轴配置的400XR和LXR系列线性定位器兼容。 8 M1 Z1 U Q j8 l+ H0 M7 J: B: w- R 5 P: @8 H6 O) U5 i* gZP200系列滚珠丝杠驱动的方导轨式垂直定位平台; 标准功能及配件:- X O/ s9 r5 M9 Z, [, L! K7 Q ?框架宽度为200 mm, {# [2 N7 n) s2 u' _ ?标准行程25 mm$ g& R) _" X; I ?重复位置精度为+/- 3微米 , n$ s3 n/ g$ h E$ r?最大速度为440 mm / sec $ v" o+ r& f8 c0 c?三个精密滚珠丝杠间距% f% o4 H: j6 }" O! z7 p1 { ?最大有效载荷为735 N % T. W. Z0 L4 {' C( Q?预配置的直列电机安装选项$ w* x; W7 R. v& @) R. Q ?提供洁净室准备3 T% Q; t, y; T& m0 V* g9 i5 r ?添加外部线性编码器的标准选项 5 l! l! E' M8 v9 a$ u/ a5 o?易于调节零位传感器和限位传感器 |
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