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楼主: 风若寒
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平台精度探讨及公差分配

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11#
 楼主| 发表于 2018-10-17 19:04:45 | 只看该作者
远祥 发表于 2018-10-17 11:00
具体情况具体分析,楼主最好把设备的状态和工况也描述出来,最好是有图片,这样我们才能分析的到位。



这个设备类似磨床吧,用来切割芯片的,切割力很小,这个设备的核心有三点,分别是主轴、刀片和平台精度,我们暂时只讨论平台精度这一块吧


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Wafer Cutting?  发表于 2018-10-18 13:01
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12#
 楼主| 发表于 2018-10-17 19:06:13 | 只看该作者
鑫森淼炎垚 发表于 2018-10-17 09:32
精密东西不是随便就能玩的。

领导说了,明年二月份要拿着这个家伙去和小日本做一场

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是的  发表于 2018-10-18 18:52
pk?  发表于 2018-10-18 14:55
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13#
 楼主| 发表于 2018-10-17 19:09:13 | 只看该作者
陆奇亮 发表于 2018-10-17 09:42
除了零件精度要满足,应该还需要软件闭环反馈,这精度的确有点难搞

这个机器据说属于日本设备里面的低端机型,毕竟是个半自动的嘛,所以是不带光栅尺的,是伺服半闭环控制的,不过他们出厂前应该做了补偿的
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14#
 楼主| 发表于 2018-10-17 19:24:07 | 只看该作者
ywjianghu 发表于 2018-10-17 09:45
设备的照片来几张,可以吗?

主体部分就是图片这样了,一共有五个轴,有点像磨床吧

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15#
发表于 2018-10-17 20:21:53 | 只看该作者
平面移动是否可以考虑直线模组的方式,采用高精度光栅尺,应该可以实现,主要不需要考虑滚珠丝杠的间隙问题。
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16#
发表于 2018-10-18 08:41:04 | 只看该作者
没有光栅还能达到此精度,选型,加工,装配要求会很高的
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17#
发表于 2018-10-18 08:55:45 | 只看该作者
系统、硬件都要OK才行,估计怎么着也得一遍遍调,一遍遍改
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18#
发表于 2018-10-18 09:24:48 | 只看该作者
光x轴直线度1u就够搞了吧     我们装调导轨一般在0.02左右  
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19#
 楼主| 发表于 2018-10-18 09:47:56 | 只看该作者
化石desmond 发表于 2018-10-17 20:21
平面移动是否可以考虑直线模组的方式,采用高精度光栅尺,应该可以实现,主要不需要考虑滚珠丝杠的间隙问题 ...

有考虑的,我们也计划做一套直线电机的平台做对比,但是我们直线电机平台的直线度和平面度也做不了那么高的
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20#
发表于 2018-10-18 13:05:32 | 只看该作者
以前有接触过类似的设备,也是小日本, 据说这种高精度的设备, 仅仅的顶层平台的平面度都能把人搞死. .. 层层公差累加起来, 末端根本不可控,... 然后呢, 小日本就走了一个野路子, 先装配起来, 然后上床子, 在最上面干一刀. 问题解决....至于你说的互换性, 估计也就仅限于一个零件..
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