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这个只是验证不同设备的测量相关性。。( G/ g9 A$ T' w8 b' x
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我说的更直白一点吧
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- R: d# u- H! P切片膜厚是最精确最直观的,因为目前用扫描电镜可以测量0.1微米以上的厚度毫无压力,很多地方可以做到; E' _1 c, G& b% _4 z0 N, b+ O
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而你要求的阳极膜厚,用400X的金相显微镜就可以量测,这个数据我们可以看作是真实值(会有偏差,但是可以忽略)9 W/ V5 {& t/ ^) m
+ D5 Y0 V, e+ K1 y+ \$ G! W这个时候就可以采用这种磁性膜厚仪来测量同一片产品,多次测量的数据可以看到重复性如何,取多次测量的平均值和金相测得的真实值做比较,看看偏差多少,可以人为补偿(前提是你重现性要好,重现性不好那就证明这个磁性膜厚仪不能测量)
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不知道我讲的是否够清楚。
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