《真空技术》PDF

la999

真空技术
9 O( m5 O ^- d4 L( z0 S作者:王晓冬 等编著
/ K E5 y z; [. n出版社：冶金工业出版社
* D& \3 f0 X4 a4 z. ]0 M原价：50
9 Z4 C3 a3 U. R: H- Z2 [1 y K出版日期：2006-9-1
ISBN：7502435719
5 v- \7 q3 Q- }" \2 M字数：730000
印次：1
0 [) k% W' e' M% |+ w- |. I/ p( X版次：1

内容提要
本书系统地介绍了真空技术的基础理论、真空获得设备、真空测量仪表、检漏技术、真空系统设计的原理和方法。主要内容包括：稀薄气体分子运动理论、吸附与脱附、真空中的电现象、真空中的气体流动、真空泵的分类与性能、容积式真空泵、动量传递式真空泵、气体捕集式真空泵、真空测量、真空检漏、真空系统的组成、真空系统元件及连接、真空系统中常用材料和真空卫生、真空系统的设计计算等。本书既注重真空技术中的知识体系，又反映真空技术中的最新发展，具有很强的针对性和实用性。 本书可作为高等院校真空技术与设备、过程设备与控制工程、材料科学与工程、物理等相关专业本科生、研究生的学习教材，也可供真空技术应用、真空设备制造与使用单位的工程技术人员参考。

目录
7 X8 N' |' y& W' p; j7 d$ q1 绪论
1.1 何为真空
1.2 真空度的表征及真空区域的划分
. B7 t* n/ H' J5 ?$ D9 u1.3 真空技术的历史回顾
1.4 不同真空状态下的真空工艺技术
1.5 真空技术的应用领域
2 稀薄气体分子运动理论
. j, M. B: B6 J V2.1 气体在平衡状态下的物理特性
2.2 气体的迁移过程
9 z+ e, t5 w# _, f2.3 蒸发和凝结
; i# h3 p' Q8 W/ w9 y: v6 D3 吸附与脱附
3.1 吸附现象及吸附机理
1 K, f3 _' j2 U" ?( C! U Y' o H3.2 吸附和脱附过程的描述
0 y V n( e' A0 e# m$ T' D3.3 溶解和渗透
4 真空中的电现象
5 ]: w2 z* E* u7 C4.1 电子发射
$ n, v$ f, I# v/ Y7 f0 `7 `) _7 Q4.2 气体放电
7 e! s9 Y) b7 @( x. o* I7 O' T5 真空中的气体流动
5.1 气体流动状态及其判别
5.2 气体的流量和管道流导
3 ^! }3 D( T% H1 X( d+ F# x; r5.3 简单管道的流导计算
6 真空泵的分类和性能
5 [% @( A) p$ s7 b0 t6.1 真空泵的分类
6.2 真空泵性能的表示法
$ ^4 W7 a r; n7 o9 @; Q- f5 A6 n. Y6.3 真空泵的用途及使用范围
" j% v5 I( n3 L% W6.4 真空泵的型号及规格表示法
6 T* a( a" V0 f& A8 M$ Z7 容积式真空泵
e* ^; F1 |5 x- @7.1 液环真空泵
7.2 往复式真空泵
7.3 油封机械泵
7.4 罗茨真空泵
- }# K+ x; \6 K8 {& a7.5 干式真空泵
% N. Z' ^/ }& p* k3 y8 动量传递式真空泵
9 气体捕集式真空泵
1 h& p. D3 q% \3 B( f/ @( r$ C10 真空测量
, A, e9 v4 x6 C% f! J11 真空检漏
; n& R% F4 u" K5 R, I0 w12 真空系统的组成
13 真空系统元件及连接
$ q9 R$ y& M+ h1 _; D2 j14 真空系统中常用材料和真空卫生
5 ^( B7 i. ?% d) O) u' c15 真空系统的设计计算
参考文献

! Q6 F9 s, g% A% q |. a[本帖最后由 la999 于 2008-6-15 11:57 编辑]

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1.对检漏方法的一般要求
（1）检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；
（2）反应时间短，可以提高工作效率；
（3）能定位、定量，即不仅能够找出漏孔的位置，还能确定漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；
（4）能无损检漏，不使被检设备受到损坏和污染；
（5）稳定性好，即保证足够长时间内灵敏度稳定可靠；
7 w$ Z" {4 U, v6 a（6）所用“示漏气体”在空气中含量低、无毒、不腐蚀零件；
9 F6 L1 C; Y/ F5 k* J+ R4 B! _（7）检漏范围大，从大漏孔到小漏孔都能检测，以减少检漏设备的数量和费用；
i; z9 P5 t. T9 M6 X2 A（8）检漏时应洁净无油，满足一些特殊要求。
- R+ ^4 t4 X4 X) \6 G2.选择检漏方法的原则
（1）主要根据被检漏设备的允许漏率为依据，由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合，为找到一个单个漏孔，所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1～2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11W，而必须选用的检漏灵敏度为10-12～10-13W；
/ w3 E. b% ^7 M8 g（2）根据具体被检对象，所用方法简便易行、经济实用。
" t d, ^* p6 f" k1 v/ p S0 K. C3.检漏方法的分类
按被检容器所处的状态可分为两大类，即加压检漏法和真空检漏法。
（1）加压检漏法。在被检容器内充入一定压力的气体（称试验气体或者探漏气体）或液体，当容器上存在漏孔时，气体（或液体）便从漏孔中逸出，从哪里逸出，逸出量的多少等，就可判断有无漏孔存在、漏孔位置和大小。属于此类检漏方法有：
5 A6 I; j3 }: b4 Z( j水压法：将清洁的水压入被检容器中，一般水压在2～3个大气压左右，观察容器外壁有无水珠出现，根据水珠出现的位置大小和快慢，来确定漏孔位置和估计漏气量的大小。
# Y# w, ?0 c+ K% G2 s% E" s气压法：将试验气体（空气或其他气体）压入被检容器，在外面检查有无气体逸出，具体方法有：火焰、气泡指示法（水槽法、皂膜法）；氨检漏法；卤素检漏仪和氨质谱仪吸嘴法和放射性同位素法。其中卤素检漏法是，金属铂在高温（常用850～950℃）下产生正离子发射（主要是碱金属离子），这种发射遇到卤素气体时急剧增加，依据这个现象可以制成一种检漏仪器，即卤素检漏仪。
铂的离子发射现象被设置在一个探头中，探头是一支二极电子管结构，加热丝、阳极及不锈钢阴极组成一间热式二极管，后部安装吸气风扇，使用时不断吸进气体，工作时二极管的阳极由灯丝加热到850～950℃，阴极对阳极加有250V负电压并收集正离子，离子电流由电子电路放大后，用仪表指示，考虑到检漏时无暇观察仪表指示
8 e! l: W4 g! n+ ]- [* [示漏气体多用氯的卤化物，如氟利昂、氯仿、四氯化碳等，其中以氟利昂无毒、不可燃、蒸汽压力高、灵敏度高被广泛应用。检漏时，卤素气体充于被检件内，用外探头在外部
寻找漏孔。这种方法可检出10-9 Pa·m3/s的漏孔，工业产品一般为10-6～10-7Pa·m3/s。
（2）真空检漏法。将被检容器内部抽空后，再把试验物质施于容器外表可疑位置。如有漏孔，试验物质便通过漏孔
进入容器，通过一些方法或仪器指示出来，从而可判断出漏孔的位置和大小。属于此类的方法有：静态升压法；放电管法；真空计法；氢-钯法；离子泵法；高频火花检漏法；卤素检漏法；质谱检漏法。其中离子泵检漏法是，溅射离子泵的离子流大小可反映真空系统真空度的高低，因此，类似于电离真空计的方法，用离子泵的电流指示可对系统或被抽容器进行检漏。这也是一种既简单又灵敏的检漏方法。