《超高真空技术》PDF

la999

超高真空技术
作者：邱爱叶，邵健中编著
0 S6 o8 z1 F4 f; c* x出版项：浙江大学出版社 / 1991.8
5 k7 m  @' \7 M( k/ J) e- S原书定价：￥2.65
$ h; e: ^# V/ I! _+ u. ^& n无装帧项：20cm / 241页
ISBN号：73080074** / TB751
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骆马湖铁匠

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1.对检漏方法的一般要求
6 j7 s) R# Z# e* X（1）检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；
/ d4 A( ?4 Y, Y; S( F' u（2）反应时间短，可以提高工作效率；
# F  r- h" d4 w! p+ e3 l（3）能定位、定量，即不仅能够找出漏孔的位置，还能确定漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；
（4）能无损检漏，不使被检设备受到损坏和污染；
（5）稳定性好，即保证足够长时间内灵敏度稳定可靠；
, _' T) [. u6 }- ?（6）所用“示漏气体”在空气中含量低、无毒、不腐蚀零件；
' V1 A# _3 S/ X" O（7）检漏范围大，从大漏孔到小漏孔都能检测，以减少检漏设备的数量和费用；
（8）检漏时应洁净无油，满足一些特殊要求。
2.选择检漏方法的原则
（1）主要根据被检漏设备的允许漏率为依据，由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合，为找到一个单个漏孔，所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1～2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11W，而必须选用的检漏灵敏度为10-12～10-13W；
（2）根据具体被检对象，所用方法简便易行、经济实用。
3.检漏方法的分类
5 W' T5 e  j  ^& d+ F6 V/ \* q* x按被检容器所处的状态可分为两大类，即加压检漏法和真空检漏法。
. i4 `: t; @, h7 V" ^（1）加压检漏法。在被检容器内充入一定压力的气体（称试验气体或者探漏气体）或液体，当容器上存在漏孔时，气体（或液体）便从漏孔中逸出，从哪里逸出，逸出量的多少等，就可判断有无漏孔存在、漏孔位置和大小。属于此类检漏方法有：
, Z9 ^  e2 J# m$ I* R水压法：将清洁的水压入被检容器中，一般水压在2～3个大气压左右，观察容器外壁有无水珠出现，根据水珠出现的位置大小和快慢，来确定漏孔位置和估计漏气量的大小。
% g1 l6 t2 C% Z( I" U气压法：将试验气体（空气或其他气体）压入被检容器，在外面检查有无气体逸出，具体方法有：火焰、气泡指示法（水槽法、皂膜法）；氨检漏法；卤素检漏仪和氨质谱仪吸嘴法和放射性同位素法。其中卤素检漏法是，金属铂在高温（常用850～950℃）下产生正离子发射（主要是碱金属离子），这种发射遇到卤素气体时急剧增加，依据这个现象可以制成一种检漏仪器，即卤素检漏仪。
* x* U! L% I* g& L铂的离子发射现象被设置在一个探头中，探头是一支二极电子管结构，加热丝、阳极及不锈钢阴极组成一间热式二极管，后部安装吸气风扇，使用时不断吸进气体，工作时二极管的阳极由灯丝加热到850～950℃，阴极对阳极加有250V负电压并收集正离子，离子电流由电子电路放大后，用仪表指示，考虑到检漏时无暇观察仪表指示
示漏气体多用氯的卤化物，如氟利昂、氯仿、四氯化碳等，其中以氟利昂无毒、不可燃、蒸汽压力高、灵敏度高被广泛应用。检漏时，卤素气体充于被检件内，用外探头在外部
" r1 Y1 v0 [9 f9 l寻找漏孔。这种方法可检出10-9 Pa·m3/s的漏孔，工业产品一般为10-6～10-7Pa·m3/s。
2 X. l2 W# R% m" x（2）真空检漏法。将被检容器内部抽空后，再把试验物质施于容器外表可疑位置。如有漏孔，试验物质便通过漏孔
2 g: ]' k) Z" t进入容器，通过一些方法或仪器指示出来，从而可判断出漏孔的位置和大小。属于此类的方法有：静态升压法；放电管法；真空计法；氢-钯法；离子泵法；高频火花检漏法；卤素检漏法；质谱检漏法。其中离子泵检漏法是，溅射离子泵的离子流大小可反映真空系统真空度的高低，因此，类似于电离真空计的方法，用离子泵的电流指示可对系统或被抽容器进行检漏。这也是一种既简单又灵敏的检漏方法。