呵呵~还是扬天师兄思路严谨。& S1 ~0 i- k! q+ d/ P& G
我说的0.004μm的重复精度是指我做实验的那次的经验值。被测的是同一个环规的同一个位置。假如换个时间去测,也许会有所偏差,但是一个稍有耐心的技术人员20nm以内是能够保证的。: E& w, z& T7 g- N' u- Y/ p
这类超高精度的量仪对环境的要求都很高,被测工件的物理因素也必须考虑,调整适当的测力以满足不同要求。主要用来检定环规塞规~~~! g: w" [' d: Z# f
* v: B9 \- D( Q2 v+ b+ M
假如楼主的问题按精度(有效分辨率)划分,可分为低(10~100μ)、中(1~10μ)、高(0.1~1μ)、超高精度(。。~0.1μ)。大致上:
h7 H; C3 M; {) K* O: n尺类——低精度,其中千分尺等精度较高;4 a: h- D0 X0 \" w x% R
表类——中等精度,百分表精度较低;
* F* `- ~+ j; j9 q; ?气动、电动等比较量仪类——高精度,也因厂家而异;
+ G m7 ^* @( M" ^- z, b光学量仪——中~高精度;% j. F4 U$ N9 L, w8 F0 h" f- k; k
其他测长仪、高度仪、三坐标等不同产品精度跨度较大——中~超高。
( @( X, M8 t* }4 F$ Q( c/ U
* t+ {8 z2 O, n) |* K个人意见,欢迎补充或拍砖~~:)
* E! K H! V: N9 d" S5 e7 }' d
& {4 J2 j8 n8 h0 [% @5 L[ 本帖最后由 野兽飘飘 于 2007-12-13 17:27 编辑 ] |