呵呵~还是扬天师兄思路严谨。
5 a, o/ J( A4 x @我说的0.004μm的重复精度是指我做实验的那次的经验值。被测的是同一个环规的同一个位置。假如换个时间去测,也许会有所偏差,但是一个稍有耐心的技术人员20nm以内是能够保证的。
& W. b5 n: A. S U# R; A) O这类超高精度的量仪对环境的要求都很高,被测工件的物理因素也必须考虑,调整适当的测力以满足不同要求。主要用来检定环规塞规~~~. X o6 v9 c4 s- s3 p. ? ~
0 u. w( S$ `: V1 I5 @4 H, W4 [: V假如楼主的问题按精度(有效分辨率)划分,可分为低(10~100μ)、中(1~10μ)、高(0.1~1μ)、超高精度(。。~0.1μ)。大致上:
) H$ U& S9 W4 \# h4 |尺类——低精度,其中千分尺等精度较高;1 m8 ?, {' z$ @1 Z7 c
表类——中等精度,百分表精度较低;- N8 L/ A) X8 m' ^* j: Y, b
气动、电动等比较量仪类——高精度,也因厂家而异;9 a9 q9 s/ _+ j6 s
光学量仪——中~高精度;
# Y! K$ [% R8 ]( l5 }1 U c- Z其他测长仪、高度仪、三坐标等不同产品精度跨度较大——中~超高。8 U' j! t+ S/ J
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个人意见,欢迎补充或拍砖~~:)1 _7 v4 q% L7 J- M3 ~
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