精密丝杠或模组短行程的定位精度能做到多少？

清来

各位社友，您们好！请问精密丝杠或者模组短行程的定位精度(譬如10mm以内)能做到多少呢？希望有这方面了解的社友能分享一下，让我涨个见识，我表示万分感谢！
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梁福重

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精密丝杠或模组的定位精度，等级高的可以做到奈米分辨率，如芯片`半导体制程设备，但这样的系统精度並非仅靠丝杠-导轨达成，还需要高分辨率的微步进或伺服电机配合专用驱动控制器来配合；重要是还要控制环境温度的稳定及減少空气中的微尘(无尘室)，当然还包括环境噪音及厂房设备谐共振的影响。

ps.奈米分辨率的微距XY滑台有些是使用压电元件驱动而非伺服电机。

yinzengguang

梁福重 发表于 2017-9-18 06:14
精密丝杠或模组的定位精度，等级高的可以做到奈米分辨率，如芯片`半导体制程设备，但这样的系统精度並非仅 ...

" M, X$ h% k7 }9 a两者串联，一个长距离移动，一个微调
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清来

梁福重 发表于 2017-9-18 06:14
精密丝杠或模组的定位精度，等级高的可以做到奈米分辨率，如芯片`半导体制程设备，但这样的系统精度並非仅 ...

- R. b4 G1 P/ K要是用的是三菱电机或者松下电机搭高精度丝杠模组的话，短行程定位精度能做到um级吗？
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梁福重

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清来 发表于 2017-9-18 09:08
! L% r+ [" D" }5 l要是用的是三菱电机或者松下电机搭高精度丝杠模组的话，短行程定位精度能做到um级吗？

三菱/松下的电机及驱动控制单元基本做到um等级都是没问题，但主要还是丝杠/滑台模组精度要夠高(丝杠用细牙距&双螺帽0背隙预压+滾动滑台)就能做到

未来第一站

定位精度不但和丝杠、模组本身精度有关还和传动机构，控制系统等有关。

ailaodao

模组精度不单单是需要靠自身机械精度还需要结合电器元件及电路设计来考虑，闭环，半闭环，直连、同步带链接等都会影响使用过程的精度

whg061500

新手学习多多指教

SATAYQJ

我是做模组的， 有需要可以联系我， QQ 1877335280

芊儿0702

微米级别没问题的