请教关于低温等离子的问题

慕圣

我们实验室近期搭建了2台等离子机，真空度约在2Pa左右，属于低真空度的等离子。之前搭建过，设定功率约55w，整个放电结束后温度约在28-30℃，跟进口的基本没差别，用了一两年并没问题。但最近的2台，设定到十几瓦的功率温度就能达到40-50℃，根据检测匹配也是较理想的，这是为什么呢？用的都是一样的配件，一样的结构！另外做的小型机目前没发现这种问题。

liu20668

没见过，有没有相关的照片看看