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图示干泵连接分子泵外还必须连接到真空腔吗?

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1#
发表于 2017-7-11 10:27:18 | 只看该作者 |只看大图 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
干泵需要两路气路?

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2#
 楼主| 发表于 2017-7-11 10:29:04 | 只看该作者
好友这个抽真空速率真不好算啊   这个速率又不是均匀的   一开始抽速慢,后来变快,但是根据我的理解  真空度越高抽速越低才对啊   为什么看分子泵抽真空速率曲线,后面就变成直线了呢?

点评

我的理解是一端抽真空,一端是停机时放气。  发表于 2017-7-11 10:52
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3#
发表于 2017-7-11 12:25:03 | 只看该作者
好熟悉的感觉,真空镀膜机,电弧靶,镀金度氧化钛!
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4#
发表于 2017-7-11 14:40:08 | 只看该作者
应该是需要的,这样才能保持真空度
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5#
 楼主| 发表于 2017-7-11 17:03:44 | 只看该作者
看你们回答我也是醉了 。。。来个专业的。。。
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