石墨烯试制气体传感器，可检测出7ppb的NO2

寂静天花板

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6 d- |. K7 ?/ [/ Z- T" E气体传感器的结构概要（图像：IEDM）

富士通开发出了采用石墨烯的半导体气体传感器。将在半导体元件及工艺技术相关国际会议“IEDM 2016”（12月3?7日、旧金山）上就其详细情况发表演讲（演讲序号：18.2）。该传感器的特点是灵敏度较高，选择性较大。

试制的气体传感器将普通的MOSFET栅极电极换了成了石墨烯。这样一来，NH3和NO2吸附到石墨烯上时，MOSFET的漏极电流就会出现变化。检测到NO2时，MOSFET的漏极电流会减少，检测到NH3时，MOSFET的漏极电流会增加。
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通过检测这种漏极电流的变化，在室温下，可检测到7ppb（1ppb为十亿分之一）的NO2和420ppb的NH3。不过，该传感器对SO2、H2S和乙醛基本无反应。传感器的灵敏度可以调节。


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