日本电子零组件厂从家电转移到手机与汽车零组件后,积极投入微机电(MEMS)传感器研发,推出各种超小型与高精度的传感器,扩大传感器的应用;随物联网(IoT)概念兴起,传感器在物联网社会中将扮演更重要的角色。 * s5 [/ j; A6 G/ S% e7 Z8 }微机电传感器依用途大致可分成二类:一,运动与方位传感器,如罗盘功能用地磁传感器,运动状态用速度与加速度传感器、倾斜传感器、陀螺仪等,常用在导航系统;二,大气资料传感器,如温度、湿度、压力传感器等,除气象用途外,也可用在医疗保健又或汽车控制用途。 V; @" N) R% c( t# B' k1 O 8 x" j' Y: h" X' e, f北陆电气工业(HDK)原本便生产多种传感器,随微机电传感器在传感器领域的重要性渐增,北陆电气也转而研发微机电技术,生产微机电传感器,并将传感器与基板等其他零组件、以及必须软体,组成模组一起销售,扩大相关事业。目前该社以超小型湿度传感器为主力产品。 $ g6 N" @( H% F& D, }9 H5 B* I" R) y. { q 村田制作所(Murata)踏入微机电领域,始自2012年购并前芬兰传感器大厂VTI Technology、改名为Murata Electronics Oy,接下来开始生产各种运动与方位用途的微机电传感器,用在汽车、医疗保健、电力、生化研究、IT等各种领域。( Q8 K1 D; |* F0 H1 U0 R5 K
+ o* T6 s/ t3 e% w$ x目前村田强调的微机电传感器,是全球首款表面实装型角加速度传感器,长5.2毫米(mm)、宽2.5毫米、高0.8毫米,可望取代过去的螺丝端子型或圆筒型角加速度传感器,让运动感测系统的设计更为多元。 , |6 V" H: P& x" h0 U) @" i) u; @" \: L X6 }) H) T TDK、 Alps电气(Alps Electric)与罗姆半导体(Rohm Semiconductor)的微机电传感器则以压力或湿度感测为主,可感测高度差200毫米等级的微小气压差,足以精确测量高度。这些厂同时积极与运动 传感器厂合作,推出结合运动方位感测与气压感测的传感器模组,供智能型手机或穿戴式装置应用。 : {2 g1 |7 g+ M; u% R) B 5 P; ^* o( ]. n4 \" ]7 N* G3 ~而Mitsumi电机(Mitsumi Electric)与日本航空电子工业(JAE)等二厂,目前正在积极开发微机电传感器,用于汽车及基础建设市场。& r5 T9 Z4 U$ U& M
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