求精度为微米级的测量方式或工具？

忍爱天下

1 B% \: b# T, `9 ~, u( y' {% F$ F
7 p. ^  ~+ c5 d& n3 V2 m      最近在测一些数据，要求精度至少在1um以内，现在自己了解到的关于一些测量的工具如游标卡尺、深度尺、高度尺、百分表、塞尺也就在0.01mm的精度，内径、外径千分尺可以达到0.001mm但是在一些场合用他们来测量的话碍于结构形式不能实现，而千分表的话则对于多次测量需要找一个基准做参考，且主要用来测跳动的居多。现在机床上精度用的比较高的测量装置就是光栅尺，然而它不能像卡尺这样用着随心应手，再者一些比较高端的测量工具如激光干涉仪等一些光学测量元件其价格昂贵。不知各位在实际测量一些微米级或者精度更高的尺寸时用的是什么测量工具，小弟不才，才疏短浅望各位前辈能指点一二。谢谢。最近面临这个问题待解决求帮顶 求老鹰支持！

bamboo

你懂的太多了

zhangjifeng

气动量仪

祥云飞鱼

激光干涉仪  还嫌贵  其他你又闲不方便，干脆自己发明一个吧。还有在异性件都可以测量的，制作检具 或者辅助检具怎么会不行。
              提醒楼主 测量的目的要明确，要达到什么目的，是为了检验设计要求，还是批量零件校核。测量目的明确，测量方法才能明确。
% @3 M/ L. m) M' ]1 K7 K               说了半天楼主不知道测什么，到底是机械零件、量具、刀具、夹具、模具、电子元器件、电路板、冲压件、塑料？

冷月梧桐

貌似有个投影仪可以测量，三坐标也可以量

忍爱天下

7 p$ u, Z; g; I6 g3 c

祥云飞鱼 发表于 2015-3-21 21:09
1 h1 s' J3 @' i) n% I& K8 e激光干涉仪  还嫌贵  其他你又闲不方便，干脆自己发明一个吧。还有在异性件都可以测量的，制作检具 或者辅助 ...

8 n5 {7 _3 U* @& @# D" O$ t- j7 K
单个零件测量 无批量 比如测图上的W2。只是想问问大家有没有更好的方法，可以实现这个测量 如果单独设计一套量具只是对类似零件起作用换个其他的可能就不适用了 而且假如单独制作检具，其精度也要很高，制造成本很高的。对零散件不适用，只为寻求更好的测量方式

柳漫

位移传感器，不知道楼主知不知道，精度可以满足要求的，做套合适的机构安装就行了

wdn36409

7 Y1 P" S7 {1 E
要测量W2的尺度，可以自制一个量块，两个平面涵盖公差带，即可。

ValleyViews

忍爱天下 发表于 2015-3-21 21:28
单个零件测量 无批量 比如测图上的W2。只是想问问大家有没有更好的方法，可以实现这个测量 如果单独设计 ...

                       

中间的虚线是对称线还是圆柱轴线？

忍爱天下

ValleyViews 发表于 2015-3-22 01:43
中间的虚线是对称线还是圆柱轴线？

对称线