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光学轮廓仪的测量精度怎样，与接触式轮廓仪比较呢？

spaceship

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1^#

发表于 2014-3-8 14:31:18 | 只看该作者回帖奖励

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请教，光学轮廓仪的测量精度怎样？与接触式轮廓仪比较呢？

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JXTTTTT

2^#

发表于 2018-8-6 14:59:05 | 只看该作者

我又来赚威望啦！！！

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byh945

3^#

发表于 2019-8-27 10:32:07 | 只看该作者

目前光学测量分辨率能达到纳米级别

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