机械必威体育网址

 找回密码
 注册会员

QQ登录

只需一步,快速开始

搜索
查看: 7005|回复: 13
打印 上一主题 下一主题

CVD鑽石薄膜材料,中国人搞的

[复制链接]
跳转到指定楼层
1#
发表于 2007-3-16 20:00:32 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

( J/ t/ ^* f( E( \' @

1 y* o+ o; t6 n! X- T% ]6 X$ V) p0 q/ K- W* s: p+ F! M, q% J% a+ ]( s( O( t6 F6 Q! R' j: p( s3 J2 P3 J% Z: o1 D! q4 K- x& f& ?% X" Q% e8 T' h" N* {& i' \( X- r1 F' B3 ?) ?1 a. a+ f+ |4 r! A9 q5 p& K8 E$ \, x% U1 ?2 I: i% i/ @# N6 S9 h8 g8 a5 n; z1 X4 J4 p' ~# ^' F( T9 v; S! a3 w4 N( G% |% q; F7 ?9 H2 Z* u" ^/ I w3 |9 x3 o% @4 d6 O" V/ b* K, {1 Q A) |6 w5 g( I" P! M- C7 l! {0 v! y- R' D/ \+ P* R- i! ?! q; G* q7 ?. o( J4 R* L o% c; X) ]% P* I6 `+ L5 h2 R: J2 X% C d X1 M" @0 x9 \! Z9 v' @& O. V3 k) X2 r. R' Z" E7 V4 r/ j. G/ A- f8 m2 I; }# X9 T8 M; A: q# s) f5 ]4 m$ p/ K' G1 j- a1 {6 Q# _0 R( ~9 \6 x4 h( J D9 {: X2 g* l- i" `7 n" T9 ~ |$ x* p8 k6 I4 s% |1 a: T8 k1 o) K7 l$ c+ d r/ N9 j% y# B" k, i* F# j' |6 ?
- V2 h! n7 o0 k, N- Q r4 P

X - 光分析 ( XRD ) – shimadzu XRD-6000 ( 40kv30mAstep 0.02 deg.speed 4 deg. / min.fficeffice" />

4 M7 P2 y/ {& R

 or 1 deg. / min.)

! e) R/ G# Y J# c

  ◎晶體結構

' z6 P. }. N. s+ ?

  Cubic

y6 h# h; I W' M$ x5 ^: q, w

  ◎空間群

3 C' `+ a9 S$ W9 j% B! M% Z2 Q

  Fd–ffice:smarttags" />3m

. i4 B) D& s, h! V4 f: i

  ◎晶格參數(R.T)

7 J2 z" ~: L: Z$ h6 O4 z

  (A) 3.570

; O' d8 }# Z% X- k

  ◎密度(g/cm3)

2 q; c1 }# |' P* Y

  3.508

; E( m$ N4 ~% ]

  ◎晶面(111)

, {& S' b0 G: B- h) ]

  202

( \; x/ B; `. V; G2 r

粗糙度分析 ( SPM ) - Thermo Microscopes CP Research  ( 50 μm * 50 μm )

5 d, i5 m( }' |

◎中心線平均粗糙面Ra ( Ave. Rough )

$ J7 @# y( q; i+ a

總面積 / 底長86.39 nm霧面,1.052 nm亮面。

/ \! s; I9 L: D0 K# `6 W! r, T

◎中心線均方根粗糙面Rq ( Rms Rough )

- X9 ~3 M Q5 ^* N

104.8 nm霧面,1.321 nm亮面。

& {6 p' r* o& R1 A

Rp 250.4 nm霧面,2.592 nm亮面,Rv 189.1 nm霧面,6.156 nm亮面。

- |5 p( d- F( g& ~) R

◎高低差異值為 8 nm 亮面。

6 y0 g8 L! b8 }3 e" G4 d0 l0 D8 z

 

" S1 G8 F6 b) L/ {2 w

 

& e5 O: Q' K4 l# w5 ^. Z. N

 

. I% v- _2 f2 ]: ]# r; N

 

$ w( T4 E8 T" A

 

* f# x, {- u8 _3 S J* K. b

 

: v3 Z0 b5 L0 R, V/ a" A

 

2 [$ E- U2 Y8 t' [

 

- ?# `) p7 U% S" [0 l t9 j; L

 

1 b( O' ~- Q6 E/ Z( Y

 

! `1 t/ U* a1 C' R

 

/ t6 Y% U- k( |6 x- G4 `- }

 

8 w, w1 F4 u) Y8 c. _9 o

 

2 e% V' @6 J o2 a" W3 l2 z1 J

 

( T5 V# [' K$ N

圖片:

2 t- S5 e2 ]$ ]

顆粒顯微分析一

' Z8 | \# w) s2 h/ h# w

 http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/c75c1677bcef434a879d7d44eeaad6f9.jpg

) X' y- J# K. n2 I9 Q5 ]

顆粒顯微分析二

* h& ?( d' X- S, y

http://images13.51.com/8/a/50/c6/jamesliu8029/002cc1a954517aaa99a89fa79f5630f6.jpg

' D9 A- H q2 X+ L0 Z+ A% X

顆粒顯微分析三

9 _4 Q! ~1 h0 `- K1 ^

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/77da81c0c62a779263590857a6c9a566.jpg

8 N* D4 E ]! S# |+ h$ w/ F

顆粒顯微分析四

$ E/ c: I! ]1 ~. h- s5 a

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/f04619a8a3620c771d15dd9e2cde7c39.jpg

" j8 d3 F1 L3 K8 a5 W

顆粒顯微分析五

) ?& N9 p. x: T6 C( V* A

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/9c35afd2e5743f30280c0bdcde90541c.jpg

' i- q$ i ?( m8 f

顆粒顯微分析六

% ]& p$ o$ u- _; O# Y7 l) l

http://images13.51.com/9/a/50/c6/jamesliu8029/45e49448cff9f6edffdd3dfc5fa04ad9.jpg

8 J3 ~, N! N. F

顆粒顯微分析七

9 s3 s& [7 k) k

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/aa0eb2392c3d8a47d29f8e3bb9cebd42.jpg

* p) n* b2 P" c

 

/ {6 O9 |& l+ r3 W) j1 D

      

回复

使用道具 举报

2#
 楼主| 发表于 2007-3-16 20:10:58 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

補充:  T* |  D# ^! p/ j4 d- a
這是完全由中國人研發並拋光完成的CVD鑽石薄膜材料% f- S$ @, i' z
日本人做到2吋!!中國人做到4吋
* I, {3 ^# P' Y圖一是鑽石膜晶片拋光品質6 M, ?1 b' \2 c$ v0 p8 {6 g
圖二是拋光與未拋光之比較% k3 D3 }4 m" P( i+ Y+ c
圖三至圖七是電子顯微鏡照片
回复 支持 反对

使用道具 举报

3#
发表于 2007-3-16 20:25:53 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

呵呵,希望中国的各行各业都能像这样超过日本人~~~~
回复 支持 反对

使用道具 举报

4#
 楼主| 发表于 2007-3-20 23:50:30 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

為啥沒人頂??不懂材料特性??3 p3 X1 E5 @  F# s$ H: i. o: m
我再補充一下!!!& K2 Y# |; y) y& j4 o6 U
鑽石的硬度在100GPA密度3.2g/cm3以上,熱傳導率1300~2100W/mK(銅397),比熱1.81J/cm3K(銅3.4),熱擴散率7.2~11.6cm2/s(銅1.16)" J! ]9 d9 G" U! D- ?: V
其散熱及不沾粘性是世界公認
) R2 p3 ^$ x2 S/ E% |. G: j在電子應用LED上可替代藍寶石基材,可作IC等散熱片
2 L9 h" X# m3 s) p在機械行業可用精密模具(如鏡片)、耐磨材料6 k2 x; T6 W2 n/ T
我的QQ是473137404
1 t: u' e! D5 c+ F3 L; k歡迎大家一起討論
回复 支持 反对

使用道具 举报

5#
发表于 2007-3-21 09:40:11 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

不懂不懂,请教:这种钻石薄膜是柔性的吗?可以做密封件吗?可以成型吗?是否有买?价格是否很贵?谢谢。
回复 支持 反对

使用道具 举报

6#
 楼主| 发表于 2007-3-21 13:17:02 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

原帖由 滴水天 发表 . U! T+ V* z; @$ X3 J$ a' i% [ 不懂不懂,请教:这种钻石薄膜是柔性的吗?可以做密封件吗?可以成型吗?是否有买?价格是否很贵?谢谢。

. X& D" y: }# P, F' x

這是平面剛性材料,因需拋光,才能達到1.052奈米的粗糙度,用於耐磨導靠零件,耐酸鹼,可替代所有超硬材料,現規格是四吋

+ L* ~! z, P5 n# m

可惜不是柔性的!!如有興趣研究者,可與我連系  

# O. q6 O B0 A2 ?" i

QQ: 473137404

回复 支持 反对

使用道具 举报

7#
发表于 2007-3-21 14:31:38 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

想了解下:使用什么设备(哪国的)来制造的?
回复 支持 反对

使用道具 举报

8#
 楼主| 发表于 2007-3-21 15:06:55 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

中國人自行開發的CVD設備

回复 支持 反对

使用道具 举报

9#
发表于 2007-3-21 15:22:17 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

只知VCD,CVD?液晶面板。。。?
回复 支持 反对

使用道具 举报

10#
 楼主| 发表于 2007-3-21 15:39:24 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

fficeffice" />化學氣相沉積技術(Chemical Vapor Deposition縮寫 CVD)

# q0 v* z% f! ~" N" ]

ffice:word" />化學氣相沉積是製造微電子元件時,被用來沉積出特定薄膜(film)的技術,所沉積出的薄膜可以是介電(dielectrics)、導體、或半導體。

# Q) `5 i. t% T

 

3 L' h _, R) }5 |! @, d q

 

6 N; r/ P4 u1 o* S7 \2 U

 

9 ~) m# u9 P7 q, \$ Z

物理氣相沉積技術(Physical Vapor Deposition縮寫 PVD)

( J: E& O3 \" }8 \

物理氣相沉積應用方式與化學氣相沉積相似,主要有三種製程:蒸鍍(Evaporation Deposition)、離子鍍(Ion Plating)、濺鍍(Sputtering Deposition)及衍生性濺鍍。

回复 支持 反对

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册会员

本版积分规则

小黑屋|手机版|Archiver|机械必威体育网址 ( 京ICP备10217105号-1,京ICP证050210号,浙公网安备33038202004372号 )

GMT+8, 2025-1-12 17:30 , Processed in 0.074394 second(s), 15 queries , Gzip On.

Powered by Discuz! X3.4 Licensed

© 2001-2017 Comsenz Inc.

快速回复 返回顶部 返回列表