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CVD鑽石薄膜材料,中国人搞的

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1#
发表于 2007-3-16 20:00:32 | 只看该作者 回帖奖励 | 倒序浏览 | 阅读模式

" c* d" e2 I2 i: n% u5 J

, M1 H! q6 v4 O" l. l7 ]3 e! D; n' \9 O0 h& r: m& X/ k5 Q: L; ~6 S1 y; _ Z4 t1 x; ?: }5 G. e- h) R9 ]# K- [8 _$ z$ V- ^" Y" g0 ^! w' k# o, e) Z6 W6 L/ d0 `3 I+ N% R) w% e: _/ T2 I, n( c2 e* e' b4 G7 {8 m# ? r- d( P7 O$ x& S9 T2 J! p4 ~- z# O# L5 V3 j/ n/ \. ^ P; o) k4 R- i0 J: e0 v+ a. [+ ]; c$ X1 B# `) \; R3 W3 Y8 L9 f8 \. \8 B9 i. z3 E6 `& x- B# X9 Mx& W3 X+ L& ?1 }& s) T; t& H: a( y8 f7 a; Z9 x2 R1 L7 L; c X$ ~9 U7 ]) y% h K6 z1 u6 p1 d \, T5 @6 G8 C: e& a' x& i0 F' X8 I6 R$ R6 h2 Q' @, P5 j8 o$ e7 {$ @: S0 R0 t% e& |% D3 Z# P1 A, y1 U, L+ M' `! X1 W9 u+ }0 h. m3 A; [( f/ J, `" q. \/ @( ?$ ^# c S' N! t; ?5 ^4 v, d5 `3 r5 g! o( v3 }* E! T8 Z* U. U) ?% {& t' Y1 w1 `: |0 T; M$ X* U
$ M. ~% i( }9 v4 t3 v( X

X -光分析( XRD ) – shimadzu XRD-6000 ( 40kv30mAstep 0.02 deg.speed 4 deg. / min. fficeffice" />

- v! k3 H8 I( r3 P2 m2 Q

or 1 deg. / min.)

5 ]( g8 B$ ~" ^5 @5 j: W2 d; {

◎晶體結構

- C# Q# h) i& U" p' X2 H5 V' R J

Cubic

7 {4 e% ^6 n! U3 n9 v/ ?6 C, |

◎空間群

6 ?; M2 P) G( K3 H8 g

Fd– ffice:smarttags" /> 3m

; @$ w/ q( r1 I, s$ d' N& @2 h

◎晶格參數(R.T)

; ?2 Z. H" V8 J4 ^5 Y* v3 h

(A) 3.570

0 |3 q! ` s/ v

◎密度(g/cm3)

: x% X ]) X: {: ]2 `. J

3.508

5 w# @) F5 U* N% N1 c

◎晶面(111)

. `: S5 l' f O3 ]$ a- X# _

202

, P% C; ~7 w+ ~6 V

粗糙度分析( SPM ) - Thermo Microscopes CP Research( 50 μm * 50 μm )

+ X8 L* h+ g" k( [

◎中心線平均粗糙面Ra( Ave. Rough )

- y$ z# {( S4 }. h/ e

總面積/底長86.39 nm霧面,1.052 nm亮面。

/ ~; R: u: j4 `4 c/ j+ K* \; N/ b

◎中心線均方根粗糙面Rq( Rms Rough )

. B% f0 ?% T/ b' u {4 J0 m

104.8 nm霧面,1.321 nm亮面。

$ j1 l0 A. p# W4 f5 F8 k4 D

Rp 250.4 nm霧面,2.592 nm亮面,Rv 189.1 nm霧面,6.156 nm亮面。

6 D7 \& W" d. T. U) J

◎高低差異值為8 nm亮面。

, T4 J' X9 }6 h) ?

/ r: q+ N! @. v; m

O1 _2 ~0 n) n* X0 o5 k

2 H+ g9 `2 E# ^8 s) i7 ?3 R

# u9 `: d$ Y9 \7 U

3 l* a8 o O9 w7 b

" ]+ G x+ \% c8 l$ P# g

]4 j' i5 B% \3 p" a! D

/ K9 ^4 n' q: j5 C

6 f/ s) }) b3 u E5 ?# i

' g" n5 j+ i; i( r( c

+ I3 ]( l' P* _* m6 Q# w! y+ O

8 E9 h# V, i) B q/ f/ Q

* A1 l! L% D# Z8 n6 j

3 R# J0 I4 A3 |. A

圖片:

' K/ S3 {. b; K9 R

顆粒顯微分析一

4 m! P" X; H, p5 q# Z

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/c75c1677bcef434a879d7d44eeaad6f9.jpg

4 V6 Y+ y {, u; M/ B4 y! Z2 v& O

顆粒顯微分析二

1 i! R- Y' ~+ M2 f2 M

http://images13.51.com/8/a/50/c6/jamesliu8029/002cc1a954517aaa99a89fa79f5630f6.jpg

6 I# r2 K; ?0 P7 V0 l! b* C

顆粒顯微分析三

% m5 W9 V8 a# u+ Y. v: y

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/77da81c0c62a779263590857a6c9a566.jpg

" g2 a. U9 B6 x3 B* L+ r* A

顆粒顯微分析四

# H7 S; Y3 l0 t5 f o: ?

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/f04619a8a3620c771d15dd9e2cde7c39.jpg

- W6 _5 L6 `+ M

顆粒顯微分析五

" {5 m/ L5 {4 n( T) W

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/9c35afd2e5743f30280c0bdcde90541c.jpg

& i6 M0 L! T K. V8 N9 h- f. N

顆粒顯微分析六

5 t/ }1 G0 E1 Q& v; {5 L

http://images13.51.com/9/a/50/c6/jamesliu8029/45e49448cff9f6edffdd3dfc5fa04ad9.jpg

/ K- g2 K( T6 b& M) B

顆粒顯微分析七

( ~# d4 o5 O+ ^8 Z" @

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/aa0eb2392c3d8a47d29f8e3bb9cebd42.jpg

" P" g: @9 q( ?

7 J- p+ j7 h" q1 t/ v0 K

2#
楼主 | 发表于 2007-3-16 20:10:58 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

補充:
- }" ]2 f8 |' l3 B6 Z2 K這是完全由中國人研發並拋光完成的CVD鑽石薄膜材料
2 V( L8 P1 T b% P日本人做到2吋!!中國人做到4吋
5 M; L2 l9 I4 L* C6 o圖一是鑽石膜晶片拋光品質
( W- O+ `4 J; @1 F3 d圖二是拋光與未拋光之比較
3 G' D/ ?- P, k4 x3 W% b圖三至圖七是電子顯微鏡照片
3#
发表于 2007-3-16 20:25:53 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

呵呵,希望中国的各行各业都能像这样超过日本人~~~~
4#
楼主 | 发表于 2007-3-20 23:50:30 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

為啥沒人頂??不懂材料特性??
7 j) Z7 Z+ j d( Y; L: M我再補充一下!!!2 v* b0 u8 B: Z- R# K3 Y' U
鑽石的硬度在100GPA密度3.2g/cm3以上,熱傳導率1300~2100W/mK(銅397),比熱1.81J/cm3K(銅3.4),熱擴散率7.2~11.6cm2/s(銅1.16)1 _% z9 k, R" |" L' b
其散熱及不沾粘性是世界公認
3 Q' N/ ]! s' w在電子應用LED上可替代藍寶石基材,可作IC等散熱片8 [: B5 k* V% t# Z2 F
在機械行業可用精密模具(如鏡片)、耐磨材料
2 y0 I0 _5 D! A1 A" x H我的QQ是473137404* ]7 Q5 i% k! q6 d" e
歡迎大家一起討論
5#
发表于 2007-3-21 09:40:11 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

不懂不懂,请教:这种钻石薄膜是柔性的吗?可以做密封件吗?可以成型吗?是否有买?价格是否很贵?谢谢。
6#
楼主 | 发表于 2007-3-21 13:17:02 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

原帖由 滴水天发表 , V l4 q, |' ^ i& B不懂不懂,请教:这种钻石薄膜是柔性的吗?可以做密封件吗?可以成型吗?是否有买?价格是否很贵?谢谢。

; o1 v$ }! |# k# {7 n9 J* A$ X

這是平面剛性材料,因需拋光,才能達到1.052奈米的粗糙度,用於耐磨導靠零件,耐酸鹼,可替代所有超硬材料,現規格是四吋

( R/ \4 Y0 j$ V

可惜不是柔性的!!如有興趣研究者,可與我連系

, l. K+ s2 ^, j# b& j

QQ: 473137404

7#
发表于 2007-3-21 14:31:38 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

想了解下:使用什么设备(哪国的)来制造的?
8#
楼主 | 发表于 2007-3-21 15:06:55 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

中國人自行開發的CVD設備

cmx
9#
发表于 2007-3-21 15:22:17 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

只知VCD,CVD?液晶面板。。。?
10#
楼主 | 发表于 2007-3-21 15:39:24 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

fficeffice" /> 化學氣相沉積技術(Chemical Vapor Deposition縮寫CVD)

; ~7 B- H, F' ^9 W

ffice:word" /> 化學氣相沉積是製造微電子元件時,被用來沉積出特定薄膜(film)的技術,所沉積出的薄膜可以是介電(dielectrics)、導體、或半導體。

% R1 H6 x( g% a* W1 w" U' } X

0 ]/ ]9 ?; [4 V6 T

+ e/ y3 \1 c7 b* O K

! u. m, c& C8 i: R! D$ N) r8 b

物理氣相沉積技術(Physical Vapor Deposition縮寫PVD)

' H% l0 Z9 i9 s( R! X* X3 o

物理氣相沉積應用方式與化學氣相沉積相似,主要有三種製程:蒸鍍(Evaporation Deposition)、離子鍍(Ion Plating)、濺鍍(Sputtering Deposition)及衍生性濺鍍。

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