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真空机组搭配,请教

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1#
发表于 2012-2-9 10:42:36 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
假如需要给一个1000mm×1000mm×1000mm的真空室配一套真空机组,高真空,真空度要求能达到5×10e-3pa,采用分子泵加旋片泵的组合。
* Z/ M: H! y* ~* ]9 p8 A$ d
, P" Z, T8 p5 ]  z现在想知道的是:! ~1 j) V5 c; p% n$ h! U
0 ~" z; W  y3 w, \  _5 ~
一台抽速1300L/s的分子泵抽和10台抽速110L/s的分子泵抽,哪个效果更好?然后假如选用1300L/s的分子泵,前级旋片泵的抽速应选多大?
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2#
发表于 2012-2-9 11:08:03 | 只看该作者
这个得计算,复杂也不负责,但得算,
. _8 D' N  ^7 i2 L4 ~- _
1 D6 r+ j, g7 n) G5 {& y# s你算好了,也可以发上来,大家给你看看,猜谜是不行的,
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3#
 楼主| 发表于 2012-2-9 14:28:49 | 只看该作者
2266998 发表于 2012-2-9 11:08 # ~- p0 x9 R. d8 Z( n
这个得计算,复杂也不负责,但得算,' U# l1 b8 H5 x& C

8 ^# N- w3 Q; b) I0 X7 d/ o你算好了,也可以发上来,大家给你看看,猜谜是不行的,
: H  n8 N- \, ^+ y' J. ~
998大侠:如果前级抽到1000Pa的时候开分子泵,抽到1000Pa这个时间相对于整个抽气时间是不是可以忽略不计?按高真空下的抽气时间算,主要考虑真空室材料的出气率,但是这个材料出气率的表我没有...,还有就是10个110L/s小分子泵同时抽,是单纯的叠加为1100L/s吗?还有对于1300L/s的分子泵,查到前级选12L/s的泵就可以了。
! I  b' q1 a7 G) \6 I9 U
7 c/ k5 X& ^: P% ]) ?8 Z2 U
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4#
发表于 2012-2-9 14:35:47 | 只看该作者
晶戈铁马 发表于 2012-2-9 14:28 % B$ a* p" d7 h" y1 r# u$ l. u4 l8 @
998大侠:如果前级抽到1000Pa的时候开分子泵,抽到1000Pa这个时间相对于整个抽气时间是不是可以忽略不计? ...
, L9 A$ n3 M, T5 q
对于一个真空系统,你要计算,而不是估计,怎么玩,阿拉告诉你,
8 u; X: T" O( W) L5 P
# ^' [. M) m, R" K" Q& i: T% s对于一种真空泵,有一个工作曲线,即在一定时间内,一定工况下,可以达到的真空度,这个还要结合工程热力学计算,因为随着抽气,温度是变化的,曲线也是变化的,这个要计算,' V% e, o) t9 q; _

0 @2 F  r# ~, Z: c6 {: D粗真空系统,到一个真空度,就没有效果了,这个要计算,比如升温,还可以继续抽气,这个要折算,
! g' `* V, A6 Y) Q" F8 ?+ h/ D6 C) [' A8 T& c( V
转换的时候,要考虑阀的密封性,再计算细真空的抽气速率,6 M; T8 @1 o1 U- G" O+ ]

, x# q3 L( Y. a* K总之,这是技术工作,要每个步骤玩出来,不能估计什么东西,别人说的也未必对,尤其网上,胡说的非常多,说了也不负责,比如阿拉,哈哈,% z: V* w% J0 d! s2 p1 G2 M, a

4 z5 P- e  u* z2 A你按阿拉说的,每个步骤耐心玩吧,
! G; @7 _, ]' B) Y- h, z

点评

当你不完全明白人家的工艺时,只能给人家建议,不能包办什么,对一个自己不完全了解的过程,说的过细了,后果是严重的,人家按你数据做了,造成大的损失,你负责吗?所以,你只能说技术的过程,实现他是人家的事情  发表于 2012-2-11 16:43
久久发,只对自己的技术负责。  发表于 2012-2-11 01:20
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5#
发表于 2012-5-30 16:54:05 | 只看该作者
根据楼主描述的真空腔体,是个不算大的,而且真空度要求也是中真空,很容易达到。
, A1 L' e6 Z' K- A" U* Q
3 L2 t! K8 t3 m" A! s对于这样的真空腔体,除非你有特别的抽气时间需求,否则选大泵和小泵都是一个样。另外如果楼主说的10台小泵采取分布式安装,那当然要好点,但分布式安装的其前级泵如何处理?
* U: J4 R# A8 t0 ~$ x! F
$ z, ]3 I' [( A: K3 A所以啊还是根据腔体上开口尺寸选择一台分子泵+机械泵组合即可,建议分子泵选择600L/S的,前级泵选择6~8 L/S的就完完全全的满足要求了。
0 V: G" }" i% j% L
! U" {) I2 F! h8 S9 [4 h再大的分子泵,你就会发现等机械泵抽到10~1 Pa后启动分子泵,还没等分子泵满转速频率,真空度已经达到你的要求了。呵呵
$ k1 m, R. J/ [' [% s
6 j% P* W4 d6 e: w$ l
; C) n1 v* y& @0 z: j& D以上的前提是 真空腔体不存在大的泄漏,内部材料不存在大的漏放率。
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6#
发表于 2012-5-30 16:59:42 | 只看该作者
另外补充一点* a% ]: h2 R0 n& Z& S6 R

# I0 c) M9 t9 w2 a& ^计算过程我就没帮你算了,你自己下载真空设计手册算算吧,有相应的章节
9 z7 |# Q. g6 c3 _/ J7 E( Q
: j5 j! z6 v7 Z, Z4 L& C4 k, s计算选择什么样的泵所需要的抽气时间! z3 k8 T, r, }4 K6 k
8 i3 E$ c! x! g6 x5 a. i
前级泵的选择等等。
- ~, T3 R: N3 n: A- b2 o$ l. q+ _( @$ Z
下载地址我找了个百度网盘的,正规的。, S1 a% p9 m$ d0 t
1 [; R' U& U7 G# k8 q
http://pan.baidu.com/netdisk/singlepublic?fid=228853_149853622
. R. W  n+ E( l, y0 @
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7#
发表于 2024-3-5 10:40:36 | 只看该作者
网址已失效了,可惜了
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8#
发表于 2024-5-24 14:15:07 | 只看该作者
骆马湖铁匠 发表于 2024-3-5 10:40
! \3 n3 {  F; p( a$ i/ T. s: W网址已失效了,可惜了
# S. k) F* a1 |8 a$ R5 V3 [) i
Mechtool,搜这个可以查真空设计手册,就是不能下载$ h0 `! n3 `+ o0 Z' G
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9#
发表于 2024-5-25 08:07:58 | 只看该作者
gunianyisheng 发表于 2024-5-24 14:151 V( c  }0 S! [2 {! Y% |9 o1 t
Mechtool,搜这个可以查真空设计手册,就是不能下载
7 H' @! W3 P4 p! [, [7 b
谢谢大侠$ F" C8 u* L! V5 C1 ]* D
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