求助：哪种机构可实现μ级精度调节？？？

andy1216

各位达人:
" \  X; s( E+ x2 z    小弟想请教一下，我现在要做一个设备，要求在某一方向调节时精度在μ级，常用的丝杠和线轨无法实现，请教各位前辈这方面的宝贵经验，不甚感激！！！！
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古林lily

这个问题问的有点笼统，丝杠和线轨也有μ级的啊！关键是检测系统，采用全闭环的检测系统。也可以用双齿轮齿条机构

动静之机

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' D8 l# L* F8 @8 n& o" u
+ O/ W- a+ n% l: p& {0 L  }, W您要求总的工作行程是多大呢？ 进给时的负载有多大呢？

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andy1216

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你好lily，谢谢你的回复，是这样的，我再详细一点说明情况，目前我想用纯机械结构来控制调节精度，从而使一个部件在垂直方向运动，精度控制在μ级，您说的双齿轮齿条是什么结构（例如哪种设备上有应用），谢谢！！

andy1216

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) O3 _4 Z, c8 M3 V. N+ b1 s
您好，我想要的简单理解就是类似于X轴滑台的东西，我部件装在上面可以实现μ级精度调节，现在要求行程无所谓大小，负载在100kg左右，这种只是单纯的机械控制，其他的方式您有所了解吗?

螺旋线

参考精密磨床的进给机构。
; }1 t3 e2 P, E" ~% D国产的MG，进给当量是0.2微米。

andy1216

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* T- @& g4 q$ c3 }7 M
谢谢您的回复，您说的MG是？

螺旋线

MG是就是高精度磨床，比如MG1320，MG1412。