求助：哪种机构可实现μ级精度调节？？？

andy1216

各位达人:
4 b* H3 j% t- A* a7 G$ U# s- h    小弟想请教一下，我现在要做一个设备，要求在某一方向调节时精度在μ级，常用的丝杠和线轨无法实现，请教各位前辈这方面的宝贵经验，不甚感激！！！！
. @8 a% L; U. h2 |3 F

古林lily

这个问题问的有点笼统，丝杠和线轨也有μ级的啊！关键是检测系统，采用全闭环的检测系统。也可以用双齿轮齿条机构

动静之机

回复 andy1216 的帖子
# h8 x; L6 @; m# b9 M0 y# v5 w
您要求总的工作行程是多大呢？ 进给时的负载有多大呢？
$ v4 G; t4 z. v- ~% q! [

andy1216

回复 古林lily 的帖子
" z. Q' z' z- C0 c$ v7 \
你好lily，谢谢你的回复，是这样的，我再详细一点说明情况，目前我想用纯机械结构来控制调节精度，从而使一个部件在垂直方向运动，精度控制在μ级，您说的双齿轮齿条是什么结构（例如哪种设备上有应用），谢谢！！

andy1216

回复 动静之机 的帖子

  V6 a% Y  {, A+ y8 L您好，我想要的简单理解就是类似于X轴滑台的东西，我部件装在上面可以实现μ级精度调节，现在要求行程无所谓大小，负载在100kg左右，这种只是单纯的机械控制，其他的方式您有所了解吗?

螺旋线

参考精密磨床的进给机构。
( }) J( N! h. e. O( _国产的MG，进给当量是0.2微米。

andy1216

回复 螺旋线 的帖子

谢谢您的回复，您说的MG是？

螺旋线

MG是就是高精度磨床，比如MG1320，MG1412。