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Mahr和Zygo表面粗糙度,探索结果相差巨大!

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1#
发表于 2010-12-4 02:39:29 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
我用便携式Mahr轮廓仪测得的表面粗糙度和用Zygo 7100 Series 测得的表面粗粗度差的非常多(用的Ra-附件里打错了)。 初步分析了一下Zygo实测的一指定面积上的粗糙度,Mahr是测的一条直线上的粗糙度。不过有细微差别是可以接受的,现在差的非常大(附件)~9 y- X1 B: k3 b$ t  p. c, t3 \
会不会是因为Mahr轮廓仪的截至长度的影响?
- O6 \  n, P7 L- K5 J) @0 ~% VPS Mahr刚刚矫正过,没问题~3 m) J6 w& V* G
" f! ?) ]( z# r9 m5 a" E
请教高手原因~
. c( m6 P0 a; V7 F& V$ w% B$ G4 n* E5 H* W% k( i9 w
0 i3 u( R9 j* Y' G6 D

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2#
发表于 2018-8-11 17:32:59 | 只看该作者
顶起来,楼主明白了吗
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3#
发表于 2018-8-13 11:10:24 | 只看该作者
我又来赚威望啦!!
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4#
发表于 2018-9-17 23:08:52 | 只看该作者

- }2 t* Z; F$ J: [3 ]- f* p6 a我又来赚威望啦!!
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5#
发表于 2020-3-6 13:39:08 | 只看该作者
仪器不准吧
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6#
发表于 2020-5-19 13:17:23 | 只看该作者
ZYGO也可以拉取线上的粗糙度的吧
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