MEMS技术（微电子机械系统）

douglasChen

微电子机械系统(Micro Electro Mechanical System，简称MEMS)是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的新兴学科，它以微电子及机械加工技术为依托，范围涉及微电子学、机械学、力学、自动控制学、材料科学等多种工程技术和学科。 fficeffice" />

完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。其大小在毫米量级下，其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起，组成具有多功能的微型系统，完成大尺寸机电系统所不能完成的任务，也可以嵌入大尺寸系统中，从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。正如集成电路技术把我们带入信息时代一样，很多科学家都认为：MEMS会给人类社会带来另一次技术革命，它将对21世纪的科学技术、生产方式和人类生活质量产生深远影响，因而被认为是关系到国家科技发展、国防安全和经济繁荣的关键技术。

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