菲科半导体(张家港)有限公司(PHT Robot Inc.):提供EFEM・Sorter等晶圆搬运设备。3 S4 e0 E* @( F6 f& p) ^
" @( r, ~9 l5 K+ r6 \; k$ d北方华创:作为国内的龙头设备厂之一,北方华创在半导体设备领域有广泛的业务拓展。1 n' F; J* s% f
* O2 w+ n# C2 A( q9 Z% [中微公司:同样是国内半导体设备领域的领头羊,中微公司在刻蚀设备和沉积设备方面有较强的实力。
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盛美半导体设备(上海)股份有限公司:以半导体清洗设备和先进封装湿法设备为核心,近年开始进军沉积设备领域。6 W- ~$ K2 s! h. @, T
0 V, w: {, A% F威孚(苏州)技术有限公司:提供寻边器(Aligner),适用于直径最小2时至最大12吋的晶圆、玻璃等。6 C* [, Y6 ?1 y( P
# Y% v. y- R9 l: F( V2 Y) M! a8 S北京纳兹精密科技有限公司:提供气浮转台等产品。
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地心科技:提供气浮系统,包括气浮转台,气浮轴承直线台,以及XY双轴的平面气浮产品等。4 c* ?$ S; m- C
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上银科技(中国)有限公司:提供晶圆装卸机Load Port HLP系列,可共享8吋与12吋产品加载载出。* U& U& Z% B( V1 [$ H9 P# i
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上海大族富创得科技股份有限公司:提供EFEM设备,包括圆装载系统(Loadport)、晶圆运输机器人(Robot)和晶圆对准器(Aligner)三大部件。+ g: n. @% k9 c
% C; b1 b2 x( O E$ ]# W苏州矽格纳科技有限公司:提供Wafer Aligner晶圆寻边器、Wafer Transfer晶圆转换器等产品。 |