中国自产的光刻机是什么精度的

军师不信邪 · 发表于 2024-10-16 15:50:56

听说中国自产光刻机了，中国自产的光刻机是什么精度的？

cangzhoumj · 发表于 2024-10-16 16:06:47

都会有的

卢Tiger · 发表于 2024-10-16 16:11:23

听说是14纳米

不是高级工程师 · 发表于 2024-10-16 16:12:25

成熟产品14纳米，7纳米也产，良品率低。

HaloSmart · 发表于 2024-10-16 16:12:59

规模化的稳定在28nm吧

军师不信邪 · 发表于 2024-10-16 16:21:17

挺想换手机的喜欢华为但华为太贵，性价比低我有玩游戏的习惯

来自何方 · 发表于 2024-10-16 16:39:06

找欧皇做一百亿个总有一个传说

前景钱 · 发表于 2024-10-16 16:57:34

前两年那个HW的7纳是哪里生产的？

鸟与鱼 · 发表于 2024-10-16 17:05:20

目前的状态是分辨率65nm，意味着有机会能刻出65nm芯片，不计代价多重曝光的话，或许还能努力够到28nm芯片

学者11 · 发表于 2024-10-16 17:06:32

。在《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024版）》中提到了国产光刻机的一些参数：光源波长为193纳米，分辨率为65纳米，套刻精度达到8纳米或以下。这表明该光刻机能够用于65纳米及以上工艺节点的集成电路制造

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