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设计心路(3)——全自动晶圆贴膜机

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1#
发表于 2024-8-1 05:40:05 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
本帖最后由 面壁深功 于 2024-8-1 05:54 编辑

今天分享的是:
全自动晶圆帖膜机(工作原理)
全自动晶圆帖膜机是芯片封装工艺中的关键设备,其设计精密且高效,确保了晶圆在加工过程中的清洁与保护。该设备集成了多种精密机械部件与控制系统,实现了晶圆从膜贴附到定位、压合、废膜处理等全过程的自动化。
设备主体由多个关键组件构成,具体包括:
  • 贴膜机底座架组件:作为整个设备的支撑基础,确保各部件稳定运行。
  • 膜放卷架放卷轴组件:负责储存并平稳放出保护膜,为贴膜过程提供材料。
  • 导向辊组(1234:引导保护膜按预定路径行进,确保膜的平直与张力稳定。
  • 膜制动台涨力调节辊(7:调节并控制膜的张力,以适应不同贴膜需求。
  • 定膜辊组件(12膜定位机构(13:精确控制保护膜的位置,确保与晶圆精准对位。
  • 剥离板组件(14离型定纸辊组件(15离型纸导向辊组件(16:负责将保护膜与离型纸分离,仅将保护膜贴附于晶圆上。
  • 离型压辊机构(17离型纸收卷驱动辊组离型纸收卷轴组件(19:处理并回收分离后的离型纸。
  • 贴膜平台(20:晶圆放置及贴膜操作的平台,确保贴膜环境稳定。
  • 收膜模组(2-12-2:负责收集贴膜过程中产生的多余保护膜。
  • 压膜行走架(23加热压膜辊棒(24压膜机构(29:通过加热与压力,确保保护膜与晶圆紧密贴合。
  • 废膜收卷机构(25:收集并处理贴膜过程中产生的废料。
  • 线轨(400A400B:为设备各运动部件提供精确导轨,确保运动平稳。
  • 顶针升降机构(28:在贴膜过程中提供必要的升降动作,以适应不同尺寸的晶圆。
  • 六轴机器人(30晶圆仓(2-12-2晶圆仓叉托(33刀架夹具(34晶圆找准机构(35:自动化抓取、搬运、定位晶圆。
工作过程简述如下:
a.六轴机器人从晶圆仓中精准抓取晶圆,放置于贴膜平台。
b.晶圆找准机构对晶圆进行精确定位,确保贴膜位置准确无误。
c.膜放卷架释放保护膜,经过导向辊组调整张力与方向,定膜辊组件与膜定位机构共同作用,将保护膜精确对准晶圆。
d.剥离板组件将保护膜与离型纸分离,保护膜在压膜行走架与加热压膜辊棒的协同作用下,紧密贴合于晶圆表面。
e.废膜与离型纸分别由废膜收卷机构与离型纸收卷系统收集处理。
f.完成后,六轴机器人将贴好膜的晶圆搬运至下一工序,整个过程实现全自动化操作,大大提高了生产效率与产品质量。


全自动晶圆贴膜机.png (68.05 KB, 下载次数: 29)

全自动晶圆贴膜机.png
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2#
发表于 2024-8-1 06:36:44 | 只看该作者
大佬早
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3#
 楼主| 发表于 2024-8-1 06:41:16 | 只看该作者
大家都早
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4#
发表于 2024-8-1 07:20:36 | 只看该作者
谢谢分享
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5#
发表于 2024-8-1 07:54:04 | 只看该作者
下次讲讲晶圆清洗设备

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必须滴  发表于 2024-8-1 08:14
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6#
发表于 2024-8-1 08:43:29 | 只看该作者
我以前做的CZ单晶炉应该算是比较前道的工序了

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好啊,有机会可以合作  发表于 2024-8-1 16:04
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7#
发表于 2024-8-1 08:56:29 | 只看该作者
大佬多讲讲半导体的设备吧,没接触过的感觉很神秘

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好嘞  发表于 2024-8-1 18:13
会分期讲的  发表于 2024-8-1 16:04
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8#
发表于 2024-8-1 08:58:08 | 只看该作者
666
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9#
发表于 2024-8-1 08:58:19 | 只看该作者
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10#
发表于 2024-8-1 09:19:11 | 只看该作者
求3D分享
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