设备内部如何控制洁净度 要求达到class10标准

海军风蝴蝶结

各位大佬求助一下，半导体设备内部要求运动的时候洁净度等级要达到class10，有没有知道要如何入手，以及应该测哪些位置，一定要所有位置都达到classq10吗？怎么确定测哪些点

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加过滤，加抽风，用符合要求的材料和运动方式