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半导体设备SEMI单开门尺寸规定

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1#
发表于 2024-5-14 13:56:34 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
求问各位大佬,有知道半导体行业检测设备的尺寸标准的吗?想找一下单开门的最大尺寸是多少,找了好久没找到
8 ^: _0 A# o1 U/ b4 i6 G# ?
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2#
发表于 2024-5-14 15:09:41 | 只看该作者
这还有标准?
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3#
 楼主| 发表于 2024-5-14 15:57:28 | 只看该作者
fiyu1314 发表于 2024-5-14 15:092 N# d- K) y9 H- ?
这还有标准?

  ^2 K. J8 t- b. H+ s* s不确定,我想单扇门总不能太大吧, f: U$ z) F  x. ]" G
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4#
发表于 2024-5-14 16:00:10 | 只看该作者
600X800应该问题不大的
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5#
 楼主| 发表于 2024-5-14 16:08:52 | 只看该作者
longjixie 发表于 2024-5-14 16:00! r5 G  ]& }, H1 y- v
600X800应该问题不大的

5 S# M) p$ C" A0 I6 t( S我想设计一个800*800的,心里没底
: Y, g. [8 l8 o+ h2 A0 C; k! c
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6#
发表于 2024-5-14 21:53:35 | 只看该作者
一般不是很大9 w/ N' Z! }3 {" g( K
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7#
发表于 2024-5-15 09:24:26 | 只看该作者
本帖最后由 继续在 于 2024-5-15 09:26 编辑
5 M: ]9 }, O  D) F  |9 N
  o1 ^6 Y3 u2 b4 w8 ]3 o保证不摆动变形就行,实在不行加加强筋,主要还得考虑开门后占的空间,不能产生其他不良影响,比如靠墙开不了那么大或者太大挡住人行通道
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8#
发表于 2024-5-19 17:41:30 | 只看该作者
我只知道SEMI认证对于设备的电气控制柜有一些设计要求,电柜门的要求包括开关权限限制、尺寸限制、开门角度限制等等。而对于其他地方的门板的,好像是没做要求。7 J+ q; o1 @: X' M7 c2 _

% O" G$ m! [- [补充内容 (2024-5-21 13:35):+ Q  u! n/ ]  I4 i
查了一下个人笔记:“电气控制柜建议门宽不差过900mm,并使用铰链,开门角度至少95°;开门需用钥匙或其他工具、或柜门连锁断电开门,若无钥匙无连锁,电柜内部带电体应满足IEC 60529标准中IP2X等级”
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