定位精度0.1μm以内的运动机构

原始人的锤子 · 发表于 2023-10-18 17:41:05

beta_ling 发表于 2023-10-17 23:18
这么高价值的设备, 可以上气浮平台, 宏运动+微运动+激光干涉测距, 控制好振动, 100nm没问题. 参考光刻机 ...

振动这块该怎么入手？现在知道一些配件可以抑振。但是不知道效果能否达到目标值。

喂我袋盐 · 发表于 2023-10-18 18:47:13

原始人的锤子发表于 2023-10-17 19:07
单机台设备售价接近一千万。成本目前评估能够覆盖。

1000万，可以上顶级了。

LatersM · 发表于 2023-10-18 19:39:34

原始人的锤子发表于 2023-10-18 17:39
请教下，现在有激光干涉仪，但是用在组装和测试时候。这玩意还能在线工作？

原理一样，用途不一样，你说那种是用来调机的。
也有专门检测轴位置，就跟光栅尺一样，反馈当前位置给控制系统。

原始人的锤子 · 发表于 2023-10-18 20:29:14

LatersM 发表于 2023-10-18 19:39
原理一样，用途不一样，你说那种是用来调机的。
也有专门检测轴位置，就跟光栅尺一样，反馈当前位置给控 ...

请教下下，对减振避振，要怎么下手。现在我完全凭经验。

周经理 · 发表于 2023-10-18 21:28:34

造芯片用吗

beta_ling · 发表于 2023-10-19 10:26:14

原始人的锤子发表于 2023-10-18 17:41
振动这块该怎么入手？现在知道一些配件可以抑振。但是不知道效果能否达到目标值。

首先, 厂房修建做好地基隔离减振措施, 其次设备底座可以增加主动减振装置, 然后设备本身移动部件均使用平衡块稳定质心, 最后机架均使用灰口铸铁等减振阻尼材料制作. 厂房环境温度要控制在22℃±1℃, 机器内部控制在22℃±0.1℃

jijie2012 · 发表于 2023-10-19 11:38:50

本帖最后由 jijie2012 于 2023-10-19 11:52 编辑

yioa · 发表于 2023-10-20 13:02:30

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