定位精度0.1μm以内的运动机构

原始人的锤子

尹志春 发表于 2023-10-17 16:52
不说做，你能测量出直径300的圆的，真圆度吗，不说加工，深圳所有的加工厂，有一家算一家，哪家有能力测 ...

老师，请教下。你们直线电机和驱动器，还有光栅用什么品牌？
另外您在定位0.1微米以上的精度，电机整定时间能做到多少？

2902007034

hitiger 发表于 2023-10-17 12:13
请问气浮导轨是什么？淘宝没收到。

气浮导轨精度很高的，导轨上面好像是微小的气孔，这一套xy轴气浮台，估计成品大概在20w-30w左右国产

喂我袋盐

ytzhanggj007 发表于 2023-10-17 14:08
就算这个导轨是磁悬浮的，丁点阻力也没有，这个精度也不是由导轨决定的，而是看驱动机构的精度。不知道你这 ...

先问lz预算。

原始人的锤子

2902007034 发表于 2023-10-17 17:37
气浮导轨精度很高的，导轨上面好像是微小的气孔，这一套xy轴气浮台，估计成品大概在20w-30w左右国产

国产有没有推荐品牌？

原始人的锤子

喂我袋盐 发表于 2023-10-17 17:40
先问lz预算。

单机台设备售价接近一千万。成本目前评估能够覆盖。

beta_ling

原始人的锤子 发表于 2023-10-17 19:07
单机台设备售价接近一千万。成本目前评估能够覆盖。

这么高价值的设备, 可以上气浮平台, 宏运动+微运动+激光干涉测距, 控制好振动, 100nm没问题. 参考光刻机结构

mhfx2020

原始人的锤子 发表于 2023-10-17 17:19
500㎜

苏大维格，可以问问

2902007034

原始人的锤子 发表于 2023-10-17 19:06
国产有没有推荐品牌？

地心科技，用着还可以

Dreaming___snai

尹志春 发表于 2023-10-17 16:26
直线电机有精度？光栅你能买到精度高于0.02的？

上家公司做过三坐标，直线电机+光栅尺+气浮导轨还得配软件参数补偿，是可以达到微米级的，不过对环境要求特别高，包括振动噪声以及温湿度

原始人的锤子

beta_ling 发表于 2023-10-17 23:18
这么高价值的设备, 可以上气浮平台, 宏运动+微运动+激光干涉测距, 控制好振动, 100nm没问题. 参考光刻机 ...

请教下，现在有激光干涉仪，但是用在组装和测试时候。这玩意还能在线工作？