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定位精度0.1μm以内的运动机构

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1#
发表于 2023-10-17 11:55:07 | 只看该作者 | 只看大图 回帖奖励 | 倒序浏览 | 阅读模式
1.想请教下有没有了解气浮导轨的?气浮导轨都是自行设计制作没有单卖的吗?
2.想学习下激光切割这类,有没有书籍推荐下?
3.抗振这块的设计,要怎么下手?现在我纯粹靠经验,心理没底。

2#
发表于 2023-10-17 12:08:44 | 只看该作者
气浮导轨有卖现成的,但是定位精度在0.1μm的看你要多长的导轨,一般国内很难达到,能到0.2μm/200mm就不错了。
3#
发表于 2023-10-17 12:13:13 | 只看该作者
|duduxiaozi32发表于 10-17 12:08气浮导轨有卖现成的,但是定位精度在0.1μm的看你要多长的导轨,一般国内很难达到,能到0.2μm/200mm就不错了。
请问气浮导轨是什么?淘宝没收到。
4#
发表于 2023-10-17 12:15:19 | 只看该作者
hitiger 发表于 2023-10-17 12:13
请问气浮导轨是什么?淘宝没收到。

淘宝估计不卖这个,比较贵,用于超精密加工行业。静压导轨可以搜搜,别淘宝搜
5#
发表于 2023-10-17 13:34:27 | 只看该作者
吓尿了,,,0.几μm。。。。。
6#
发表于 2023-10-17 13:57:56 | 只看该作者
大佬从事什么工作啊?用到这样的精度。
7#
发表于 2023-10-17 14:08:26 | 只看该作者
就算这个导轨是磁悬浮的,丁点阻力也没有,这个精度也不是由导轨决定的,而是看驱动机构的精度。不知道你这什么用途,光刻机?

点评

光刻机精度还差远了,nm级别的,差好几个数量级 发表于 2023-10-17 15:22
8#
发表于 2023-10-17 14:12:40 | 只看该作者
直线电机+光栅尺可能会达到这个精度
9#
发表于 2023-10-17 14:16:37 | 只看该作者
人比人得死,货比货得扔啊,1μ的精度我都不会搞,你们都开始搞0.1μ了;
10#
发表于 2023-10-17 15:06:34 | 只看该作者
0.1微米,用什么设备检测?
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