硅片甩干的转速一般为多少？

Godzera711 · 发表于 2021-12-4 21:16:58

如题，单片式的湿法刻蚀机在刻蚀、用离子水清洗硅片后的甩干速度一般为多少呢？小于1000rpm需要多久的甩干时间啊有大佬知道吗

东北制造 · 发表于 2021-12-5 06:34:25

加温

远祥 · 发表于 2021-12-7 22:08:17

这个最好是现场实物测量一下。。。

s453575112 · 发表于 2021-12-8 09:05:26

一般在2000-3000rpm 时间在30s左右对于 8寸wafer

Godzera711 · 发表于 2021-12-8 20:36:26

s453575112 发表于 2021-12-8 09:05
一般在2000-3000rpm 时间在30s左右对于 8寸wafer

好的，谢谢您

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