铬的湿法刻蚀

Godzera711 · 发表于 2021-8-27 10:25:33

大佬们，用硝酸和硝酸铈铵来刻蚀铬，是将两种溶液混合来刻蚀吗？还是按顺序依次将刻蚀液体喷洒到铬上?有知道的老哥吗

朱威威 · 发表于 2021-8-28 15:20:37

一种OLED用铬蚀刻液及其制备方法与应用
CN 201110279550
本发明公开了一种OLED用铬蚀刻液及其制备方法与应用.该铬蚀刻液,包括硝酸铈铵,硝酸水溶液,阳离子表面活性剂和水.所述硝酸铈铵占所述蚀刻液总重的百分比为5-30%,优选为10-20%;所述硝酸水溶液占所述蚀刻液总重的百分比为0.5-10%,优选为1-5%;所述阳离子表面活性剂占所述蚀刻液总重的百分比0.01-5%,优选为0.1-1%;余量为所述水.该蚀刻液能够在不发生抗蚀涂层渗透的情况下进行蚀刻,显著提高铬金属膜的蚀刻速度,能够将铬金属膜膜控制性良好且不发生抗蚀涂层渗透的情况下进行蚀刻,从而高效地得到高精度平滑的金属膜电极或配线,具有重要的应用价值

朱威威 · 发表于 2021-8-28 15:21:24

看你搞这个几个月了，什么进度啊

Godzera711 · 发表于 2021-8-29 13:43:11

朱威威发表于 2021-8-28 15:21
看你搞这个几个月了，什么进度啊

我水平不行，搞得很慢

远祥 · 发表于 2021-9-1 04:19:34

这个表面处理厂都搞不好的咯

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