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镀膜过程中产生喷点主要有以下几种原因: 8 W/ a3 i( N! n5 E. K! W1、镀膜材料纯度不高,含杂质较多,预熔过程中无法将这些杂质去除,蒸镀过程中杂质溅上工件表面形成喷点。1 W5 `: y A+ m' V! I) o2 ]# M 2、材料较为潮湿,预熔时电子枪光斑不能将表面的材料全部熔化,在蒸镀过程中也容易产生喷点(这种情况在用国产电子枪镀制MgF2及一些直接升华的材料时较易发生)。 0 C. z( E% ~. u) h( K5 D7 R3、镀膜前对材料进行预熔时不够充分,蒸镀过程中材料里的细小颗粒溅上工件表面形成喷点。 $ p8 ?1 z( r1 b6 g8 c4、镀膜过程中,电子枪束流过大引起的材料飞溅产生的喷点。 7 j; q5 s; G3 x" ?( Y* V二、潮斑形成的原因:* t: @' [! `% Y% k' r& s- g: q 1、清洗液配比不好,含有较多水份,清洗后工件表面留有残迹,镀膜后形成花斑。 ' ^0 f4 w3 u) O5 ~2、镀制两个面以上的工件时,一面镀制完成,清洗第二面时,镀制完的一面受到污染,在第二面镀膜后形成花斑。 . J3 J% n& Q1 G; f: x2 |, m& _3、工件本身含有的水份(工件白片制作过程细解),在蒸镀前的烘烤过程中逸出,蒸镀后形成潮斑。 % o H2 w( E: Q- @% }4、镀膜夹具在烘烤过程中会有水汽以及其它废气排出,蒸镀后在工件表面形成潮斑且对镀膜后的光学特性产生影响。 |
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