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镀膜过程中产生喷点主要有以下几种原因:6 R( @, P G+ l+ m. c, ^% K0 u
1、镀膜材料纯度不高,含杂质较多,预熔过程中无法将这些杂质去除,蒸镀过程中杂质溅上工件表面形成喷点。+ h& n( f' ?6 ]9 N( J8 R
2、材料较为潮湿,预熔时电子枪光斑不能将表面的材料全部熔化,在蒸镀过程中也容易产生喷点(这种情况在用国产电子枪镀制MgF2及一些直接升华的材料时较易发生)。
$ }0 Q: A J8 k7 D3、镀膜前对材料进行预熔时不够充分,蒸镀过程中材料里的细小颗粒溅上工件表面形成喷点。
( }5 A. P% f! ]" E' o/ h4、镀膜过程中,电子枪束流过大引起的材料飞溅产生的喷点。
5 O) W/ E# k) S# I二、潮斑形成的原因:5 G- L* G6 o" f% u, X
1、清洗液配比不好,含有较多水份,清洗后工件表面留有残迹,镀膜后形成花斑。, `2 ?, |, g% z3 ~* o6 ~- U
2、镀制两个面以上的工件时,一面镀制完成,清洗第二面时,镀制完的一面受到污染,在第二面镀膜后形成花斑。
- x9 \7 s3 O q# O3、工件本身含有的水份(工件白片制作过程细解),在蒸镀前的烘烤过程中逸出,蒸镀后形成潮斑。$ ?3 Q4 \5 d1 R( C- x+ h c5 h
4、镀膜夹具在烘烤过程中会有水汽以及其它废气排出,蒸镀后在工件表面形成潮斑且对镀膜后的光学特性产生影响。 |
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