|
转一篇百度知道上的帖子,我所接触过的是LPC测试(liquide particle count).
3 M& s p5 }- |----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
& f8 C1 v$ s+ e) T# }8 @( _9 i* T
由于高科技产品的精度越来越高,愈来愈多的产品被要求在相对洁净的无尘室中生产、包装、测试,如电脑的磁头、硬盘、LCD、数码像机、光学电子等行业。在这些行业中,会使用到大量的无尘室专用手套用于保护产品、人员、环境等。 & U5 S, r: E( ~' l! j
$ Z6 I5 N" h7 u8 j h" g由于高科技产品的精度越来越高,愈来愈多的产品被要求在相对洁净的无尘室中生产、包装、测试,如电脑的磁头、硬盘、LCD、数码像机、光学电子等行业。在这些行业中,会使用到大量的无尘室专用手套用于保护产品、人员、环境等。从污染的角度理解,人被视为洁净室内最大的污染物发生源,操作人员通过穿上特殊的服装系统来保护洁净室环境,免受人员产生的污染物的污染。手套作为这种服装系统的重要组成部分,不但具有充分的防护作用,同时不会污染受控环境中生产工艺的关键区域,所以手套的作用很关键。IEST-RP-005.3主要就手套的原料、生产、包装、测试等做了详细的规定。 % I- }4 u7 S* @0 S0 }0 I
$ O- V5 r2 ]* V! j. o5 p3 h7 d
到底该选用何种手套在无尘室中使用,IEST没有明确的规定,但是建议从产品的精度、无尘室的级别、成本核算等方面综合考虑。一般来说,如果是ISO 5级或以上的无尘室,建议使用丁腈橡胶手套;如果是生产晶圆、磁头、硬盘、光学仪器等应使用丁腈橡胶手套。 7 a& v* F! D! {
( }0 a0 F7 T6 p6 ?9 `$ D r由于手套多数时候是和产品直接接触的,所以对其品质要求是非常严格的,IEST标准要求对生产后的手套,在使用前必须进行清洗以及测试合格后方可使用。测试主要分四部分:外观检查、物理测试、ESD性能测试、化学测试。下面主要介绍一下化学方面的测试。
6 ^( A1 H7 d0 a, Y8 K8 p c9 M/ i& J$ Y( C# D3 k# R5 x# d
要做化学测试,首先需要专门的仪器、环境、水源、辅助系统等支持,即需要建造一个实验室。这是一笔相当大的开支,多数企业不会选择自己做测试,选用专门的有资格的实验室测试是一个好的办法,不过需要付出一定的测试费用。 \" w# L& b$ y/ [4 P( x
: @9 P/ l& v4 ~3 s
由于对产品的影响多是微观因素,即一些肉眼看不见的尘粒子、微生物等,所以测试手套也是从微观方面做出分析: # p0 x( T+ w5 S! h5 A
$ U$ d# T! X5 O7 S/ |5 e
1.LPC测试(液态尘粒测试):LPC测试是将被测物浸泡于DI水中,再进行1分钟的超声波震荡,将附着在被测物上的尘粒溶解于DI水中,然后计算DI水中液态尘粒的数量的方法。该测试是检查手套洁净度的一种重要测试方法,主要看手套会跌落多少对产品有影响的尘粒,如磁头行业,对于大于或等于0.5um的尘粒,不能超过3000个每平方厘米(@0.5um<=3000counts/cm^2)。
6 N! O' z* }% X* I
4 H; I0 Q6 J* i$ s2.NVR(非挥发性残留物)测试:是测试手套上非挥发性残留物含量的一种测试方法,测试时,用一定量的溶剂对被测试部位进行淋洗或浸泡,收集淋洗或浸泡后的溶液使溶剂挥发,用微量天平称量残留物,即可得出手套上非挥发性残留物的含量.NVR超标可知手套表面有非挥发性残留物污染。在电脑硬盘行业,一般规定NVR<20ug/cm^2。
. }: N! _& |; F/ ]: I
3 H* y! o0 S+ y) P' j& n6 `3.FTIR(傅立叶红外线光谱)测试:由于产品的要求,无尘室不允许有硅油、氨基化合物、DOP等物质存在,因为该些物质会影响到产品的质量。因此,对手套必须进行FTIR测试。测试时,用一定量的溶剂对被测试部位进行淋洗或浸泡,收集淋洗或浸泡后的溶液使溶剂挥发,将残留物作红外线光谱分析。这种方法可以分析出手套上是否残留有硅油、氨基化合物、DOP等。(注意:该测试的结果如果合格,则表示上述三种残留物没有超过敏感线,并不表示完全没有)。
1 }0 _; R% ]0 e- ^, Q
, V, M3 W6 |4 z" h4.IC(离子测试):是将被测物浸泡于DI水中,再进行超声波震荡,将附着在被测物上的无机阴阳离子溶解于DI水中,然后再进行色谱分析的方法。IC测试可测出被测物上阴阳离子的种类,及每种离子的含量。该测试最常监控的离子是Cl-、NO3-、SO4-、PO4-等,一般总重量不能超过1.0(Total<1.0)。 - j6 E1 ~+ G8 A' V" X7 l
; { s( ]) s) d7 b
5.GC(有机挥发物色谱测试):是用来分析手套上有机污染物的种类和含量的一种方法。测试时,将手套加温到一定温度,使有机污染物挥发,将挥发出来的气体收集起来,进行色谱分析,可得出有机污染物的种类和含量,当GC测试超标时,说明手套上的有机污染物超标。一般在磁头行业其标准控制在10ug/g(Total:GC<10ug/g)。
+ Q$ S. H* `' a h/ ^: l! o, i8 y9 O) Y4 s0 }
以上测试是行业中最常规的几种测试,同时IEST还规定了如硫化氢测试、耐腐蚀测试、灰烬测试等,企业可以根据产品的需要做出适当的选择。 |
|