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ZP200是一个用于垂直(Z轴)定位的精密平台,同时保持X-Y轴的完整性。 ZP200采用方形轨道轴承的楔形配置,以及高精度滚珠丝杆,提供快速的的动态响应性能。 ZP200的最大垂直行程为25 mm,与用于多轴配置的400XR和LXR系列线性定位器兼容。
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4 [# h2 S2 c% s% q, E6 @9 rZP200系列滚珠丝杠驱动的方导轨式垂直定位平台; 标准功能及配件:
, A+ ?0 ~# _5 f# V0 e' z. X•框架宽度为200 mm. X6 }1 T! G# Y$ x
•标准行程25 mm
5 J3 m8 v/ f) i; {•重复位置精度为+/- 3微米" ~9 O4 W; X$ v3 Z6 a
•最大速度为440 mm / sec
T- G5 C, }2 b+ u, F•三个精密滚珠丝杠间距6 W! D6 I2 J( V3 t Q( x; B
•最大有效载荷为735 N& C0 R, N# v( s- a% y5 I6 \
•预配置的直列电机安装选项
2 \9 G# l- D3 x9 x8 V9 a0 W9 [•提供洁净室准备" I1 r3 d6 _' Y/ O& r( c
•添加外部线性编码器的标准选项8 }5 W! E% ? [6 x2 f- h. R; W
•易于调节零位传感器和限位传感器 |
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