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CVD鑽石薄膜材料,中国人搞的

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1#
发表于 2007-3-16 20:00:32 | 只看该作者 回帖奖励 | 倒序浏览 | 阅读模式

; V& p# ^/ _, `& n: ~& L

4 F) I9 m6 u! @' C) r1 s3 z$ b+ p6 p1 s* Y. f% C0 b% \7 ?! ?, r& S7 h" I5 n2 b6 u* p9 |9 m) x& q! f3 Q% b4 V6 S0 Y$ N9 E1 g8 o1 c* g2 ?4 u' d: \% k( |# `+ k( t: }+ B/ ?' o: T) e" W; O7 p( z; L1 c4 X' C2 `: T: d/ DF6 D; r6 v: k Y. i# L4 v3 w/ k' j* V: X U, C( T, v, u# _; m+ v3 V/ R6 l* X8 a/ f8 P- k- Y2 A' {8 M6 h" d2 _# Z4 m" H# c( g& @) C. T3 \% X4 b' P) P2 c: I0 `7 n, M' b( X& g0 I" s0 W4 \9 T4 c* k% g) R0 Y* G; ?. E" n0 ^( D8 V# _. y$ u$ E" o5 ^( g/ e7 b3 Y0 k; q$ n, S h. S( ~. v: z. h7 L# {, N9 H# ^7 l6 F/ X3 m# W/ ~! {4 p0 V6 k% `( h3 `1 M+ a4 Y2 S. x- Z! Z" Q7 g$ }7 z+ w2 B2 E& D1 y: x5 u4 @4 }8 i2 T5 j8 ?' C3 `! J, L/ r0 x$ ^% u1 N. L: M8 @; c# K5 X4 u3 L3 a$ B2 q: d) ^1 o1 G% ]( S- {2 L* q
# B5 F( _! W# m2 o

X -光分析( XRD ) – shimadzu XRD-6000 ( 40kv30mAstep 0.02 deg.speed 4 deg. / min. fficeffice" />

0 n* ^ v: G; h; ^3 B5 ~) U9 q; x

or 1 deg. / min.)

; L( [3 Z |* U$ @( ^# s+ ^

◎晶體結構

& x2 {- m8 l; y0 Q. Z I4 F

Cubic

; B6 q) h6 w, U% g8 P7 q, q" @

◎空間群

. O; Y, B+ t% t3 c$ c" J

Fd– ffice:smarttags" /> 3m

; g8 l7 k' B7 o+ Y. g

◎晶格參數(R.T)

& k* d- L% M; ~, ^: k+ J

(A) 3.570

2 E; h" ~' G, M

◎密度(g/cm3)

0 N7 ?1 q; ~; I! u

3.508

5 q6 Z3 ?2 ]( k

◎晶面(111)

' A) g& t0 t4 f& m" l$ I e9 v1 \

202

7 ?+ S- F$ q$ X" u

粗糙度分析( SPM ) - Thermo Microscopes CP Research( 50 μm * 50 μm )

( r' W8 ]8 ] @, H4 U( {! k

◎中心線平均粗糙面Ra( Ave. Rough )

# | l, E1 S7 [; n

總面積/底長86.39 nm霧面,1.052 nm亮面。

& \0 ]: p: |" Q5 |7 S0 P" C

◎中心線均方根粗糙面Rq( Rms Rough )

& |& N& O9 I% i* h; i m

104.8 nm霧面,1.321 nm亮面。

; ?7 e- ~& H5 c0 r) m

Rp 250.4 nm霧面,2.592 nm亮面,Rv 189.1 nm霧面,6.156 nm亮面。

6 Z5 ]$ M/ Y$ k& X/ k" E4 q

◎高低差異值為8 nm亮面。

! F; W8 ?& {+ Z! c

; c/ \; ^, M' F8 y) U1 G

+ ~7 e% J* X; I+ [! d$ Q

4 O8 F: J; w7 E5 Y

: `0 ]7 w6 k3 t. V C

3 p/ W/ L6 f/ p

& L9 I" g. A8 v/ R

) U- ?% O! p: ]% Y% L& ~5 k

* M3 e9 Y/ \" m# L. ^ ~2 A' V; Q

3 m% ^- c. L9 d' [. \& X8 @" f7 S. H) H

% m% t5 N, R1 D6 K6 }7 Q7 r

. N l: ?% a q+ J

% t; r. K* W* I

% i6 @% `! [: E1 i1 |, n

7 V5 z: |$ u6 v& H' _& ^ n" L8 u

圖片:

$ [# o% f7 L: o. m- b

顆粒顯微分析一

' \' a- x' Y4 `) P+ m% \$ _$ i

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/c75c1677bcef434a879d7d44eeaad6f9.jpg

3 a9 ]3 N% C X1 }0 r

顆粒顯微分析二

- T; [' O! L4 P+ |( q- a

http://images13.51.com/8/a/50/c6/jamesliu8029/002cc1a954517aaa99a89fa79f5630f6.jpg

- N7 r& r3 l4 H: b+ Y

顆粒顯微分析三

8 \* E& I) m# r, C5 [; _. `

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/77da81c0c62a779263590857a6c9a566.jpg

3 Q' ]/ d' \5 B* o1 ~

顆粒顯微分析四

, [6 J2 Z, u# B0 L! ^8 ^

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/f04619a8a3620c771d15dd9e2cde7c39.jpg

8 c7 Y5 w4 M+ E. f. f

顆粒顯微分析五

0 w, @ G5 n, ]* J, b; d8 v

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/9c35afd2e5743f30280c0bdcde90541c.jpg

8 S4 i3 |4 c7 q& |# P

顆粒顯微分析六

. C# [. V3 G, G: _$ Z n% p

http://images13.51.com/9/a/50/c6/jamesliu8029/45e49448cff9f6edffdd3dfc5fa04ad9.jpg

' C- O9 P \) P: S6 |

顆粒顯微分析七

! p+ n* V% z' W( e# ^2 `5 ^+ J

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/aa0eb2392c3d8a47d29f8e3bb9cebd42.jpg

; z: ^) m' h! k0 i: b

; {3 T: d2 [# c R

2#
楼主 | 发表于 2007-3-16 20:10:58 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

補充:7 q1 u. j$ J! n: y# H$ F
這是完全由中國人研發並拋光完成的CVD鑽石薄膜材料
1 a# s* h- p! u日本人做到2吋!!中國人做到4吋
& ~' A& o% C z# [7 e: W圖一是鑽石膜晶片拋光品質) ?! @3 U# a1 |
圖二是拋光與未拋光之比較- w: f3 G5 a* b; s/ |1 [! p2 M' e
圖三至圖七是電子顯微鏡照片
3#
发表于 2007-3-16 20:25:53 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

呵呵,希望中国的各行各业都能像这样超过日本人~~~~
4#
楼主 | 发表于 2007-3-20 23:50:30 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

為啥沒人頂??不懂材料特性??2 t/ C4 c+ r# u
我再補充一下!!!
5 I% d, U& u7 Z( E鑽石的硬度在100GPA密度3.2g/cm3以上,熱傳導率1300~2100W/mK(銅397),比熱1.81J/cm3K(銅3.4),熱擴散率7.2~11.6cm2/s(銅1.16)+ i4 { W7 {: \& }5 R$ h! {
其散熱及不沾粘性是世界公認: X- _( k; Q" n( i
在電子應用LED上可替代藍寶石基材,可作IC等散熱片
2 p" d6 y% b% U2 ]# C" u" R在機械行業可用精密模具(如鏡片)、耐磨材料3 b G" S# I1 F: ]3 B# p' _
我的QQ是473137404( L1 r! G6 V S
歡迎大家一起討論
5#
发表于 2007-3-21 09:40:11 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

不懂不懂,请教:这种钻石薄膜是柔性的吗?可以做密封件吗?可以成型吗?是否有买?价格是否很贵?谢谢。
6#
楼主 | 发表于 2007-3-21 13:17:02 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

原帖由 滴水天发表 . _- o; a8 E) Z9 V不懂不懂,请教:这种钻石薄膜是柔性的吗?可以做密封件吗?可以成型吗?是否有买?价格是否很贵?谢谢。

0 n/ j$ q+ m$ {9 [7 a

這是平面剛性材料,因需拋光,才能達到1.052奈米的粗糙度,用於耐磨導靠零件,耐酸鹼,可替代所有超硬材料,現規格是四吋

$ @2 D+ Q6 ?( C3 C

可惜不是柔性的!!如有興趣研究者,可與我連系

" F4 _* L7 F3 y+ x

QQ: 473137404

7#
发表于 2007-3-21 14:31:38 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

想了解下:使用什么设备(哪国的)来制造的?
8#
楼主 | 发表于 2007-3-21 15:06:55 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

中國人自行開發的CVD設備

cmx
9#
发表于 2007-3-21 15:22:17 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

只知VCD,CVD?液晶面板。。。?
10#
楼主 | 发表于 2007-3-21 15:39:24 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

fficeffice" /> 化學氣相沉積技術(Chemical Vapor Deposition縮寫CVD)

6 F$ j$ s' X0 I

ffice:word" /> 化學氣相沉積是製造微電子元件時,被用來沉積出特定薄膜(film)的技術,所沉積出的薄膜可以是介電(dielectrics)、導體、或半導體。

: C9 }& h+ y6 q/ t8 O

4 z* Z3 ^4 A! @

: a( \+ K* J* B6 K$ [

! P: m% u- `# L' m0 N& K

物理氣相沉積技術(Physical Vapor Deposition縮寫PVD)

6 e' {2 f5 k1 g9 }

物理氣相沉積應用方式與化學氣相沉積相似,主要有三種製程:蒸鍍(Evaporation Deposition)、離子鍍(Ion Plating)、濺鍍(Sputtering Deposition)及衍生性濺鍍。

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