机械必威体育网址

标题: 一种硅片传输机械手 [打印本页]

---

作者: 丹枫911    时间: 2013-5-30 20:28
标题: 一种硅片传输机械手
种应用于半导体设备上的硅片传输机械手

---

作者: gaolaodajiayou    时间: 2013-5-30 22:13
看的不是很清楚，半导体行业真空用的很普遍，现在最牛逼的已经是让硅片悬浮移动。

---

作者: 长江漂流    时间: 2013-5-30 22:16
是用的非接触吸盘来吸取硅片的吧。

---

作者: WAST1989    时间: 2013-5-30 22:42

gaolaodajiayou 发表于 2013-5-30 22:13
2 @- k! b9 R8 v1 P# `+ [3 c看的不是很清楚，半导体行业真空用的很普遍，现在最牛逼的已经是让硅片悬浮移动。

9 D- f- _/ L! l9 Y* w, ^; s斗胆问大侠，悬浮移动是什么原理，也是控制气量吗？

---

作者: xmdesign    时间: 2013-5-31 07:14

WAST1989 发表于 2013-5-30 22:42
# [; B5 O3 W$ W5 {/ c2 q斗胆问大侠，悬浮移动是什么原理，也是控制气量吗？

# j  T* ~- [' L) Z& M0 U  [2 C$ S用的是中学物理实验的气悬浮方式，在传动展路过过一台成品机器的展位，可以控制 前、后、左、右悬浮飘移

---

作者: 931673326    时间: 2013-5-31 21:20
看看

---

作者: 天气    时间: 2015-6-17 22:49
感觉稍显笨重。。。

---

作者: bitter007    时间: 2016-7-19 16:59

xmdesign 发表于 2013-5-31 07:14
9 V& @: ^/ X' v, a% S用的是中学物理实验的气悬浮方式，在传动展路过过一台成品机器的展位，可以控制 前、后、左、右悬浮飘移
% h% W: w" ~% F; j( e/ u) x' y. m; s ...

! T+ c; q' J6 d6 G展会上见过磁悬浮传动的
3 ?: [" d; R- C# G5 E

---

欢迎光临 机械必威体育网址 (//www.szfco.com/)

Powered by Discuz! X3.4