《真空技术》PDF

la999

真空技术
5 r( C8 ~* @/ Z4 O作者:王晓冬 等编著
出版社：冶金工业出版社
原价：50
出版日期：2006-9-1
. O3 v( [# ]3 i; @( b3 l# GISBN：7502435719
字数：730000
3 [  E: w) I. [, V印次：1
2 A6 G8 ?( v$ G2 \+ Y* B4 p0 a1 w/ f版次：1
' W' m) t2 a/ o; m
  i% V9 d/ D- m. m7 @' p; w8 x$ R内容提要
本书系统地介绍了真空技术的基础理论、真空获得设备、真空测量仪表、检漏技术、真空系统设计的原理和方法。主要内容包括：稀薄气体分子运动理论、吸附与脱附、真空中的电现象、真空中的气体流动、真空泵的分类与性能、容积式真空泵、动量传递式真空泵、气体捕集式真空泵、真空测量、真空检漏、真空系统的组成、真空系统元件及连接、真空系统中常用材料和真空卫生、真空系统的设计计算等。本书既注重真空技术中的知识体系，又反映真空技术中的最新发展，具有很强的针对性和实用性。 本书可作为高等院校真空技术与设备、过程设备与控制工程、材料科学与工程、物理等相关专业本科生、研究生的学习教材，也可供真空技术应用、真空设备制造与使用单位的工程技术人员参考。
" \. t" B1 [3 Y9 S
+ _9 \0 j; k  R8 E8 ?目录
1 绪论
+ @" R" J/ u6 p+ ?2 R% f1 ^1.1 何为真空
1.2 真空度的表征及真空区域的划分
1.3 真空技术的历史回顾
1.4 不同真空状态下的真空工艺技术
1.5 真空技术的应用领域
2 稀薄气体分子运动理论
2.1 气体在平衡状态下的物理特性
, L& e% Y1 p7 `0 K& J0 C" l2.2 气体的迁移过程
2.3 蒸发和凝结
7 f; q- K0 Z5 e, K( N3 e3 吸附与脱附
3.1 吸附现象及吸附机理
3.2 吸附和脱附过程的描述
' X- f, G* G; ]* m' B, {1 t- n3.3 溶解和渗透
% `# o& f- z- _1 ?4 j" q4 真空中的电现象
4.1 电子发射
4.2 气体放电
9 D# p* h; Q; Z: \& b2 ~) G5 真空中的气体流动
5.1 气体流动状态及其判别
; J  g' O) \. M0 l7 f; l* O7 ?6 O5.2 气体的流量和管道流导
5.3 简单管道的流导计算
' D& |% F9 B) U" y( K6 真空泵的分类和性能
: ~- `2 j6 O' A6.1 真空泵的分类
+ n) y5 v* p; M- i6.2 真空泵性能的表示法
6.3 真空泵的用途及使用范围
$ e$ U& r" O4 }, S2 Q6.4 真空泵的型号及规格表示法
9 z% @+ T) u! X; b$ P( m7 容积式真空泵
# y5 w. Q% e7 t- b8 u, I7.1 液环真空泵
2 h* \0 r! l8 I4 v) `% T7.2 往复式真空泵
3 c/ J$ J0 J4 w* c8 _3 {0 X+ W7.3 油封机械泵
7.4 罗茨真空泵
) z. f7 e. P/ J. P$ A& C. J. m, F7.5 干式真空泵
8 动量传递式真空泵
  T/ D; H- i+ o" T4 C, l, A9 气体捕集式真空泵
9 |- B3 V5 h0 z! z- I/ |0 n. S10 真空测量
11 真空检漏
; F( [" H% \6 v; g12 真空系统的组成
13 真空系统元件及连接
0 P4 h" V8 r+ y5 Z2 O; z1 q14 真空系统中常用材料和真空卫生
' @0 \9 s" c3 [% p- H& v! Q4 ]. i15 真空系统的设计计算
参考文献
6 z# c: k) J: k8 t, C7 c2 X
[ 本帖最后由 la999 于 2008-6-15 11:57 编辑 ]

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1.对检漏方法的一般要求
, O, e* j) I9 e' s" H! {* j' }" J（1）检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；
（2）反应时间短，可以提高工作效率；
（3）能定位、定量，即不仅能够找出漏孔的位置，还能确定漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；
5 Z, ]$ s0 |0 G, o: P（4）能无损检漏，不使被检设备受到损坏和污染；
. m5 {+ Q( L6 x/ Z5 G9 |（5）稳定性好，即保证足够长时间内灵敏度稳定可靠；
1 C* W& ]# O/ q: c; _+ m（6）所用“示漏气体”在空气中含量低、无毒、不腐蚀零件；
（7）检漏范围大，从大漏孔到小漏孔都能检测，以减少检漏设备的数量和费用；
（8）检漏时应洁净无油，满足一些特殊要求。
5 `* l& u' [# b7 K2.选择检漏方法的原则
（1）主要根据被检漏设备的允许漏率为依据，由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合，为找到一个单个漏孔，所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1～2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11W，而必须选用的检漏灵敏度为10-12～10-13W；
8 [. U1 L" j' \# R- A8 J- q. k（2）根据具体被检对象，所用方法简便易行、经济实用。
3.检漏方法的分类
按被检容器所处的状态可分为两大类，即加压检漏法和真空检漏法。
（1）加压检漏法。在被检容器内充入一定压力的气体（称试验气体或者探漏气体）或液体，当容器上存在漏孔时，气体（或液体）便从漏孔中逸出，从哪里逸出，逸出量的多少等，就可判断有无漏孔存在、漏孔位置和大小。属于此类检漏方法有：
水压法：将清洁的水压入被检容器中，一般水压在2～3个大气压左右，观察容器外壁有无水珠出现，根据水珠出现的位置大小和快慢，来确定漏孔位置和估计漏气量的大小。
& Q2 }1 H) V3 L" g7 P9 b气压法：将试验气体（空气或其他气体）压入被检容器，在外面检查有无气体逸出，具体方法有：火焰、气泡指示法（水槽法、皂膜法）；氨检漏法；卤素检漏仪和氨质谱仪吸嘴法和放射性同位素法。其中卤素检漏法是，金属铂在高温（常用850～950℃）下产生正离子发射（主要是碱金属离子），这种发射遇到卤素气体时急剧增加，依据这个现象可以制成一种检漏仪器，即卤素检漏仪。
4 O  d* {# j8 C4 p$ O+ T" X- j! J铂的离子发射现象被设置在一个探头中，探头是一支二极电子管结构，加热丝、阳极及不锈钢阴极组成一间热式二极管，后部安装吸气风扇，使用时不断吸进气体，工作时二极管的阳极由灯丝加热到850～950℃，阴极对阳极加有250V负电压并收集正离子，离子电流由电子电路放大后，用仪表指示，考虑到检漏时无暇观察仪表指示
' Z& t. c' U  x1 O8 g示漏气体多用氯的卤化物，如氟利昂、氯仿、四氯化碳等，其中以氟利昂无毒、不可燃、蒸汽压力高、灵敏度高被广泛应用。检漏时，卤素气体充于被检件内，用外探头在外部
寻找漏孔。这种方法可检出10-9 Pa·m3/s的漏孔，工业产品一般为10-6～10-7Pa·m3/s。
（2）真空检漏法。将被检容器内部抽空后，再把试验物质施于容器外表可疑位置。如有漏孔，试验物质便通过漏孔
/ i( f) d2 T- W% [, T进入容器，通过一些方法或仪器指示出来，从而可判断出漏孔的位置和大小。属于此类的方法有：静态升压法；放电管法；真空计法；氢-钯法；离子泵法；高频火花检漏法；卤素检漏法；质谱检漏法。其中离子泵检漏法是，溅射离子泵的离子流大小可反映真空系统真空度的高低，因此，类似于电离真空计的方法，用离子泵的电流指示可对系统或被抽容器进行检漏。这也是一种既简单又灵敏的检漏方法。