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CVD鑽石薄膜材料,中国人搞的

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1#
发表于 2007-3-16 20:00:32 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

& F& o! w2 H7 |7 G

) ^2 I0 x) \0 s' R# D, \4 \3 S0 p$ v5 q! j+ n# g- L- |# a4 a; P1 d# p0 P8 S g3 b- x3 }" E8 ]2 z* v$ g1 {# B" E: W: }4 w( [+ K, E) N, t+ Y: M0 [( N2 S6 ^/ D' ?) m- J+ K/ z! e( `& {% m; n* {! @+ d, X& L* O, z8 W* b( e; [+ Y8 }$ f9 K5 |9 l) e. O( U& b8 |/ b& x U3 D) e' g" Q/ B; _3 D+ r1 V% F: o( H" N8 C; P& D1 [' ~" t; [# f" {/ ?; u2 S: |2 i6 N/ I5 |2 O0 I1 Y _ d; Q4 y" Y+ Q! x) d$ h5 A5 L0 S0 ^2 Q4 E7 [* d. O" ]" h8 S9 C- F: t( b* B' I( Y4 v6 i Y' T. i" p" |/ ]; R( H# ?- K) b+ E1 T& X# N# O1 B! Z1 v& }. z1 H1 K- g/ x& ^' ~* H' O5 J. Z# z3 w# m6 M0 m6 d, z# x! Y' S4 Z( w( R3 J3 \5 W' L+ o( p* r. _0 G/ J" w( P# {6 T$ ]; W; ^& h1 {+ Y& P' `. U P. R ?" @" Z$ V e& }2 ]9 D9 x" Z+ Y9 j9 a0 t
1 z5 l( j# ?/ V0 o# d. z# x

X - 光分析 ( XRD ) – shimadzu XRD-6000 ( 40kv30mAstep 0.02 deg.speed 4 deg. / min.fficeffice" />

! g, D6 R( u, W8 m& Q

 or 1 deg. / min.)

; s+ j S! L; m2 a$ K

  ◎晶體結構

7 u) ] Y k+ T* \4 }( P/ v: s j

  Cubic

% v( D, L) U7 b4 O$ o& M

  ◎空間群

; l+ ^9 X& Y+ x0 x

  Fd–ffice:smarttags" />3m

0 X2 o1 f! h5 g) k, L U

  ◎晶格參數(R.T)

4 t( [' P: M) r

  (A) 3.570

" [/ X, Q5 ^, L/ R5 `

  ◎密度(g/cm3)

1 d" a7 m! _( u

  3.508

. N6 h) |' _8 @# Z8 s' v M3 c

  ◎晶面(111)

9 Z2 z+ B4 b) g' m, k

  202

V, a) S9 x' e. [" a

粗糙度分析 ( SPM ) - Thermo Microscopes CP Research  ( 50 μm * 50 μm )

6 Y5 w' D2 m) @& j

◎中心線平均粗糙面Ra ( Ave. Rough )

0 S8 @; d6 a* R: R9 {* h+ u. k. [

總面積 / 底長86.39 nm霧面,1.052 nm亮面。

) F( Y Q. o4 q4 X0 P' G

◎中心線均方根粗糙面Rq ( Rms Rough )

" c% o7 w4 j4 Q5 m; e

104.8 nm霧面,1.321 nm亮面。

- i+ |5 N. S& O& i# z- j8 t, Q

Rp 250.4 nm霧面,2.592 nm亮面,Rv 189.1 nm霧面,6.156 nm亮面。

% H; o( t: x1 ^% [/ h' i; z9 O/ t

◎高低差異值為 8 nm 亮面。

9 |5 R! _6 J3 i

 

3 r: D+ L/ n: Q; t

 

! F& k6 X6 T, C+ T

 

+ a1 I2 e& y' D+ X

 

, U: i. V7 X/ M4 W

 

0 @% r3 z X; i" q ~3 v

 

" e; u E6 |% Q

 

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' l6 h* k' V5 X7 E: w2 [/ S

 

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" w- E3 `, X- C- v

 

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q4 l9 N2 |3 o9 x8 S `* e f

 

' |! `$ a- K1 m Z

 

( ~& A6 M7 e5 q* |

圖片:

* }( f0 l8 U6 M( o/ Q3 ~$ i# Y

顆粒顯微分析一

/ @/ Q6 S" `% ^. l! h( _, c5 D

 http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/c75c1677bcef434a879d7d44eeaad6f9.jpg

$ T- J( J: f' d. t8 P, B6 e% `8 |

顆粒顯微分析二

" O- G& W& Q. c1 E

http://images13.51.com/8/a/50/c6/jamesliu8029/002cc1a954517aaa99a89fa79f5630f6.jpg

3 v6 W: b! A7 v- G4 @5 j, s' V

顆粒顯微分析三

1 ~7 Q- }0 t8 X# ~( Z x

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/77da81c0c62a779263590857a6c9a566.jpg

- b: Q" l1 K& U9 M: P* [2 M% j

顆粒顯微分析四

# Z8 ~2 v8 V3 }. S

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/f04619a8a3620c771d15dd9e2cde7c39.jpg

- S3 K( M7 ~, }

顆粒顯微分析五

; v; C" f2 U/ x% F9 j

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/9c35afd2e5743f30280c0bdcde90541c.jpg

' x' Q% c g7 V- v

顆粒顯微分析六

1 M5 N$ M2 m9 B) a) o N( X

http://images13.51.com/9/a/50/c6/jamesliu8029/45e49448cff9f6edffdd3dfc5fa04ad9.jpg

. P/ [3 Q4 K! ?' t3 D/ v9 p

顆粒顯微分析七

( f6 D+ Y! @3 C$ }, l7 g

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/aa0eb2392c3d8a47d29f8e3bb9cebd42.jpg

/ W3 D1 y6 w' B6 a/ A/ _7 N

 

( p7 e# Z1 Q g- x3 C- W; y0 x$ d1 A

      

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2#
 楼主| 发表于 2007-3-16 20:10:58 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

補充:
  z$ M5 d; N) a+ ]這是完全由中國人研發並拋光完成的CVD鑽石薄膜材料
% X/ v. e8 g# F5 B  c日本人做到2吋!!中國人做到4吋
4 |" a2 n8 w' \0 [, g& _# [6 k" u圖一是鑽石膜晶片拋光品質! \! ^3 o# x- |. c- N8 T* f1 E7 M
圖二是拋光與未拋光之比較
$ w! \' [( z- G; c6 @圖三至圖七是電子顯微鏡照片
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3#
发表于 2007-3-16 20:25:53 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

呵呵,希望中国的各行各业都能像这样超过日本人~~~~
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4#
 楼主| 发表于 2007-3-20 23:50:30 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

為啥沒人頂??不懂材料特性??! G, z4 D/ E/ r$ M/ \4 \# b
我再補充一下!!!
; K$ Q4 x* g$ l# ]2 e鑽石的硬度在100GPA密度3.2g/cm3以上,熱傳導率1300~2100W/mK(銅397),比熱1.81J/cm3K(銅3.4),熱擴散率7.2~11.6cm2/s(銅1.16)
3 }3 N# y& `# F其散熱及不沾粘性是世界公認
( o; `8 D/ P# q8 V/ g在電子應用LED上可替代藍寶石基材,可作IC等散熱片
4 y6 V; j4 y' J6 ~& a在機械行業可用精密模具(如鏡片)、耐磨材料
* Q  w7 a( W0 \) S5 C1 Z我的QQ是473137404, m2 @6 p# ^8 T/ a% E; J
歡迎大家一起討論
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5#
发表于 2007-3-21 09:40:11 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

不懂不懂,请教:这种钻石薄膜是柔性的吗?可以做密封件吗?可以成型吗?是否有买?价格是否很贵?谢谢。
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6#
 楼主| 发表于 2007-3-21 13:17:02 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

原帖由 滴水天 发表2 W' c/ Q9 W$ E# {/ L9 i+ ? 不懂不懂,请教:这种钻石薄膜是柔性的吗?可以做密封件吗?可以成型吗?是否有买?价格是否很贵?谢谢。

" M9 a7 \& a4 U4 r3 Z6 K: g

這是平面剛性材料,因需拋光,才能達到1.052奈米的粗糙度,用於耐磨導靠零件,耐酸鹼,可替代所有超硬材料,現規格是四吋

. P$ X* b) Z; d

可惜不是柔性的!!如有興趣研究者,可與我連系  

& j7 V$ R% n/ @% }6 y- P5 h

QQ: 473137404

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7#
发表于 2007-3-21 14:31:38 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

想了解下:使用什么设备(哪国的)来制造的?
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8#
 楼主| 发表于 2007-3-21 15:06:55 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

中國人自行開發的CVD設備

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9#
发表于 2007-3-21 15:22:17 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

只知VCD,CVD?液晶面板。。。?
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10#
 楼主| 发表于 2007-3-21 15:39:24 | 只看该作者

Re: 日本人行,中國人更行!!!

fficeffice" />化學氣相沉積技術(Chemical Vapor Deposition縮寫 CVD)

4 M" O/ K+ K! S

ffice:word" />化學氣相沉積是製造微電子元件時,被用來沉積出特定薄膜(film)的技術,所沉積出的薄膜可以是介電(dielectrics)、導體、或半導體。

( @8 H- @4 x$ J6 O! ~6 U

 

* `: L2 L5 M0 k# ~5 i' E9 K2 @, ?. u' q( o

 

$ G* e" r& j' e; l

 

' F- [+ ^: [( `# {1 w) R- w7 Z

物理氣相沉積技術(Physical Vapor Deposition縮寫 PVD)

# N3 k3 Q# k" a9 D" h

物理氣相沉積應用方式與化學氣相沉積相似,主要有三種製程:蒸鍍(Evaporation Deposition)、離子鍍(Ion Plating)、濺鍍(Sputtering Deposition)及衍生性濺鍍。

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