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《超高真空技术》PDF

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1#
发表于 2008-6-15 11:25:45 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
超高真空技术
! B8 ?0 [3 Z& w7 m4 K. X0 C3 i9 N& m' V作者:邱爱叶,邵健中编著
; y/ k# F# l# n% q6 o出版项:浙江大学出版社 / 1991.8
: {6 a, @! O; a* H& D% _! g原书定价:¥2.65- L* H8 t/ {' p: K
无装帧项:20cm / 241页; ]" a! \7 e0 x  O8 C8 K- _6 o9 i
ISBN号:73080074** / TB7518 I2 R9 c" K2 W6 x

" G; p* p+ m2 m# q0 R5 q. f) [[ 本帖最后由 la999 于 2008-6-15 11:27 编辑 ]

超高真空技术.pdf

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2#
发表于 2024-3-5 10:53:18 | 只看该作者
好资料,感谢la999
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3#
发表于 2024-4-17 13:32:48 | 只看该作者
1.对检漏方法的一般要求
8 i8 d: I0 t; a9 k& O(1)检漏灵敏度高,可以检出很小的漏孔;
3 X+ k# {" O/ R6 m% E(2)反应时间短,可以提高工作效率;( J  `5 q# e8 l3 k
(3)能定位、定量,即不仅能够找出漏孔的位置,还能确定漏率的大小,以便确定是否合乎质量要求;& V3 `& q9 D3 T+ d7 l
(4)能无损检漏,不使被检设备受到损坏和污染;0 K( C. c' a( {  @
(5)稳定性好,即保证足够长时间内灵敏度稳定可靠;6 A, f3 ]9 r7 r$ |7 Y
(6)所用“示漏气体”在空气中含量低、无毒、不腐蚀零件;0 v1 O, o7 d3 W- Q( W8 ]6 q
(7)检漏范围大,从大漏孔到小漏孔都能检测,以减少检漏设备的数量和费用;
0 d) |7 p; e. M(8)检漏时应洁净无油,满足一些特殊要求。, L$ g( _/ [8 y/ n% u7 A4 H9 C
2.选择检漏方法的原则: ], t8 y: k* D; Y0 t7 }. Q$ c' ~
(1)主要根据被检漏设备的允许漏率为依据,由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合,为找到一个单个漏孔,所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1~2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11W,而必须选用的检漏灵敏度为10-12~10-13W;
6 o" l5 u- W/ S, [8 G$ o% o(2)根据具体被检对象,所用方法简便易行、经济实用。
) T  R7 h0 N2 C, r; S* P9 P3.检漏方法的分类: g2 t8 x: L0 a9 J
按被检容器所处的状态可分为两大类,即加压检漏法和真空检漏法。
! {; z# W4 P' l(1)加压检漏法。在被检容器内充入一定压力的气体(称试验气体或者探漏气体)或液体,当容器上存在漏孔时,气体(或液体)便从漏孔中逸出,从哪里逸出,逸出量的多少等,就可判断有无漏孔存在、漏孔位置和大小。属于此类检漏方法有:# l6 B7 l* F0 f- C/ n3 k$ N  |. W
水压法:将清洁的水压入被检容器中,一般水压在2~3个大气压左右,观察容器外壁有无水珠出现,根据水珠出现的位置大小和快慢,来确定漏孔位置和估计漏气量的大小。
# B2 ~( q6 Q0 X9 K; F; k# X. N0 {气压法:将试验气体(空气或其他气体)压入被检容器,在外面检查有无气体逸出,具体方法有:火焰、气泡指示法(水槽法、皂膜法);氨检漏法;卤素检漏仪和氨质谱仪吸嘴法和放射性同位素法。其中卤素检漏法是,金属铂在高温(常用850~950℃)下产生正离子发射(主要是碱金属离子),这种发射遇到卤素气体时急剧增加,依据这个现象可以制成一种检漏仪器,即卤素检漏仪。. ~6 o% z! c# [9 l; j& y; |: s
铂的离子发射现象被设置在一个探头中,探头是一支二极电子管结构,加热丝、阳极及不锈钢阴极组成一间热式二极管,后部安装吸气风扇,使用时不断吸进气体,工作时二极管的阳极由灯丝加热到850~950℃,阴极对阳极加有250V负电压并收集正离子,离子电流由电子电路放大后,用仪表指示,考虑到检漏时无暇观察仪表指示
5 j& y; R, A- k6 ?示漏气体多用氯的卤化物,如氟利昂、氯仿、四氯化碳等,其中以氟利昂无毒、不可燃、蒸汽压力高、灵敏度高被广泛应用。检漏时,卤素气体充于被检件内,用外探头在外部
3 T# \6 h9 q- E9 h寻找漏孔。这种方法可检出10-9 Pa·m3/s的漏孔,工业产品一般为10-6~10-7Pa·m3/s。$ K& x: `' D' o6 ~' S0 f4 i- A
(2)真空检漏法。将被检容器内部抽空后,再把试验物质施于容器外表可疑位置。如有漏孔,试验物质便通过漏孔
& D: D1 ^& m& ~1 V# Y0 K进入容器,通过一些方法或仪器指示出来,从而可判断出漏孔的位置和大小。属于此类的方法有:静态升压法;放电管法;真空计法;氢-钯法;离子泵法;高频火花检漏法;卤素检漏法;质谱检漏法。其中离子泵检漏法是,溅射离子泵的离子流大小可反映真空系统真空度的高低,因此,类似于电离真空计的方法,用离子泵的电流指示可对系统或被抽容器进行检漏。这也是一种既简单又灵敏的检漏方法。
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