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关于真空吸附装置、气动旋转接头

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1#
发表于 2021-7-11 17:07:36 | 只看该作者 |只看大图 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
目前,我要做一个真空吸附装置,用真空吸盘来吸附硅晶片,而且真空吸盘会随着电机轴一起旋转,原理图如图1所示,因为考虑到气管会和电机轴缠绕在一起,因此考虑在电机轴和真空吸盘之间加一个气动旋转接头,因为真空吸盘转速会达到3000-4000rpm,所以得定制高速的旋转接头,所以我在想有没有更简单的方法。现有的使用案例,如图2所示,红色圈里的这个接头是属于定制的气动旋转接头吗?哪里可以买到呢?因为只有图片,不太了解这个具体的结构原理,就看着这个接头比较简单,而且可以实现我上面说的原理。有懂的老哥可以指点一下啊?
图3,4,5是另外一个设备的结构,主要关注电机轴和上面的接头,可以看到图中的电机轴做成了空心状的,其实也是为了实现真空吸附,关于图中的接头结构、原理以及轴做成了空心的,有了解的老哥指点一下吗?
其实我就是想找到图2或者图5的这种接头,来复现这种产品。我表达的有点乱,我空间也发过类似的帖子,可以借助来理解,希望大佬指点,有更好的方案也可以提出来,谢谢啦!

2cc44d1e55090f87bded5229a2f733d.jpg (66.79 KB, 下载次数: 176)

图5

图5

s-l1600 (5).jpg (278.96 KB, 下载次数: 110)

图4

图4

s-l1600 (4).jpg (221 KB, 下载次数: 130)

图3

图3

dce09499f53efe9195f0d5143669812.jpg (64.86 KB, 下载次数: 109)

图2

图2

dacfec719ca09f0595a22d03258ff0d.jpg (52.07 KB, 下载次数: 116)

图1

图1
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2#
发表于 2021-7-11 17:18:43 | 只看该作者
本帖最后由 LiNing_jrjub 于 2021-7-11 17:20 编辑

旋转密封,一直都是个难题。而且你这个还是高速旋转密封
SMC的高速旋转密封接头最高也就1500转,达不到你的要求
建议你采取抽真空的方式,在旋转端设置小型真空罐
在旋转启动之前,进行抽真空,旋转结束之后,破真空取件

微信截图_20210711171429.png (227.96 KB, 下载次数: 81)

微信截图_20210711171429.png

点评

整个真空系统避免不了有真空泄露的,有个小真空罐,能防止压力升高过快。  发表于 2021-7-12 07:41
吸盘那边弄个真空单向阀 抽真空吧  发表于 2021-7-11 17:40
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3#
发表于 2021-7-11 17:32:37 | 只看该作者
本帖最后由 xue428032 于 2021-7-11 17:39 编辑

买标准的气动滑环,好像没那么高转速的
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4#
发表于 2021-7-11 23:38:42 | 只看该作者
有专门做旋转接头的,在网上找。
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5#
发表于 2021-7-12 08:24:58 | 只看该作者
网上淘宝有大把的,你搜下
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6#
发表于 2021-7-12 08:25:57 | 只看该作者
产品生产速度不快的话用2-3个小型无刷真空泵直接安装在电机转盘上吸附硅晶片。通过导电滑环供电,注意做好动平衡。
产品生产速度快,电机空心轴上加装一个空心柱塞偶件作为真空泵的通气口,柱塞偶件用低蒸汽压的真空泵油作为密封(柱塞偶件配合好,真空泵油基本无消耗),也可以实现高转速。
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7#
发表于 2021-7-12 08:34:23 | 只看该作者
也可以在电机空心轴的下方用两个研磨好的钢制高硬度平面圆盘或是石墨,一头固定在电机轴上,另一头静止。
2头利用适合的弹簧稍微弹紧。有一点漏气也没关系,真空泵流量大一点就行。
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8#
发表于 2021-7-12 09:02:49 | 只看该作者
速度太快,考虑下机械密封+大流量真空发生器
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9#
发表于 2021-7-12 11:36:05 | 只看该作者
有专门定做电滑环的厂家,电、气集成在一起,3-4千转问题不大。
如果担心真空泄露,也可以考虑另一种方法,吹气,在出口加一个真空发生器;
再或者用非接触式吸盘,原理就是吹气产生吸附力,可以问问施迈茨、SMC等;
前提是你的环境允许吹气吗?如果不允许只能抽真空了。


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10#
发表于 2021-7-12 16:02:27 | 只看该作者
电机轴和真空吸盘之间加旋转接头?你先确定这个接头加在哪里吧,图2和图5白色的是真空托盘,金属色的是定位托盘用的小旋转台,这个肯定是要自己做的。刚才我随便找了两个视频,别人转速都做到10000rpm了,你这是不是有点落伍啊
https://haokan.baidu.com/v?vid=4387102265320202827&pd=bjh
https://haokan.baidu.com/v?vid=1 ... thor&type=video
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