本帖最后由 大君 于 2016-7-16 16:58 编辑
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0 }; p c, q6 M0 U1 t3 J各位大侠:. A' T# Y( X% [1 O
最近碰到一个很棘手的问题难以解决,在这里请教各位大大。
0 x* d% z4 [( c u) O1 f 我们的技术是低温等离子体,是在真空腔里到达我需要的真空度后进气放电这么一个过程。(我们进的气是氨气)$ K+ _# r) U: y% v$ |0 v; Z
但现在遇到的情况是在运行十几次正常放电后,突然不进气就放电了,比如正常我是40pa的时候通过质量流量控制器进气,达到75pa时放电。后来40pa进气,就直接40pa放电,但流量计反馈的是进了气的。(这个是我装了质量流量控制器的问题)
- s& {" U# b, ~! s# e4 J 后来我就把质量流量计换成了转子流量计,出现了一个新问题。正常情况下到40pa的时候进气,我给转子流量计设定的值是9然后放电,但运行几次后流量计上的数值就下降到8,在运行几次到7,慢慢下降最后导致我不能放电。4 D/ p( O) r) W
这些问题我也咨询过厂家的一些人都不清楚这个情况,我也是第一次碰到这个情况。
8 h, P, }8 I: H" C8 k 在这里有没有专业人士给我解答下的 谢谢了
/ V' g k. {, V7 ]3 k/ x7 v 还有就是我的腔体里面四周有四氟板和高硼硅玻璃加工件,再加2个不锈钢电极,我现在有点怀疑是真空腔内结构的问题。如果有专业真空的大大遇到过这个情况的麻烦教我下。在这里谢谢了2 v% R0 Q) }) X
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