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泄露叠加和氦气检漏漏率转换,请教

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发表于 2014-6-12 14:10:07 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
各位大侠好,最近在做氦检设备自动化的导入,有几个问题有些疑问,不知必威体育网址这边有没有高手可以帮忙指点一下。5 I7 p0 h' e. Z7 ?4 Z" B: N$ w

6 w, Y- A. I: d$ c. L; Y1.泄露率转换的问题:如果要测试R22的泄漏率要求为1*10^-6Bar*L/S,那么如果用氦质谱仪检漏时,氦检设备设定的检漏标准是多少? 网上查询资料一说和气体的粘度有成反比,一说和其气体质量平方根成反比。 不知确切结果9 V6 p# d, a+ r  C6 }4 F7 \

" p( X& Q/ y* J3 b' V% F, w2.泄露叠加问题:即相同数量的氦气分子,不同体积的腔体内,如果其他条件完全相同的清下,氦检质谱仪测试结果是相同的,还是和体积有比例关系?8 e' X/ ?% G: Z( E2 q- l" t: t

6 |' m+ U8 T$ m, f; n; W7 s* `# Q; u" d  H# A
以上还请大家帮忙看看,谢谢了。& h6 g" w5 n, b( m9 t8 Z% j, k

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