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, ^0 H2 J/ q; [6 o n2 ~( K这个只是验证不同设备的测量相关性。。. S! I. X: L. F, l
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我说的更直白一点吧" s4 [% \8 ]3 s& A- O# v
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切片膜厚是最精确最直观的,因为目前用扫描电镜可以测量0.1微米以上的厚度毫无压力,很多地方可以做到4 s. Z* i$ P( \# i1 Z
* K# h9 P3 _# ~而你要求的阳极膜厚,用400X的金相显微镜就可以量测,这个数据我们可以看作是真实值(会有偏差,但是可以忽略)
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; @5 z, x# J4 g; E" A" X# [这个时候就可以采用这种磁性膜厚仪来测量同一片产品,多次测量的数据可以看到重复性如何,取多次测量的平均值和金相测得的真实值做比较,看看偏差多少,可以人为补偿(前提是你重现性要好,重现性不好那就证明这个磁性膜厚仪不能测量)1 U. b5 w# h S, P$ ^# @0 H
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不知道我讲的是否够清楚。- [' G7 l7 ^) }2 M; C3 G7 e
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