传感器技术向微型化、智能化、多功能化方向发展

寂静天花板

MEMS是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源于一体的微型器件或系统。MEMS技术是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。借助MEMS技术的发展，传感器技术将朝着微型化、智能化、多功能化的方向发展，这也正适合自动化和工业控制对传感器性能的需求。
+ K6 `  c) y6 L% k        目前，传感器行业正处于传统型向新型传感器转变的发展时期。新型传感器主要表现在微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化和网络化等多方面，它不仅有利于传感器行业进行产业升级，还能对建立21世纪新型工业很有帮助。微型化是建立在MEMS技术基础上的，目前已成功生产出硅压力传感器。
4 Q" J2 ]  O- }4 Y1 Z8 R/ f# ^        除MEMS技术之外，材料技术（如纳米技术）也推动着传感器技术的发展，新一代光纤传感器、超导传感器、生物传感器、纳米传感器以及微型陀螺仪等等相继出现。
        多传感器数据融合技术目前越来越受到大家的重视，它是基于在多个传感器测量结果基础上，实现更高层次的综合决策。有鉴于传感器微型化、智能化和多功能化的水平的提高，所获得的信息将大大增加，多种功能进一步集成以致于融合，是必然的发展趋势，这也将从侧面促进传感器技术的发展。
        国内传感器厂家和研究机构，要紧跟传感器技术发展的潮流，适时推出具有市场竞争力的产品，积极拓宽国内国外两个市场，提高我国工业领域在国际上的形象。
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