菲科半导体(张家港)有限公司(PHT Robot Inc.):提供EFEM・Sorter等晶圆搬运设备。1 h u9 y$ g; ^# N4 [
) ]0 P$ S; @1 v9 O4 {2 d北方华创:作为国内的龙头设备厂之一,北方华创在半导体设备领域有广泛的业务拓展。
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中微公司:同样是国内半导体设备领域的领头羊,中微公司在刻蚀设备和沉积设备方面有较强的实力。
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4 b, |/ x& v* {/ s: k; u盛美半导体设备(上海)股份有限公司:以半导体清洗设备和先进封装湿法设备为核心,近年开始进军沉积设备领域。3 |, \. e5 v; f- Q
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威孚(苏州)技术有限公司:提供寻边器(Aligner),适用于直径最小2时至最大12吋的晶圆、玻璃等。, h* ]% S# `5 ?! l N
2 l+ L# ]( x+ N, i3 G北京纳兹精密科技有限公司:提供气浮转台等产品。
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4 g% f( k" c" @2 U9 }地心科技:提供气浮系统,包括气浮转台,气浮轴承直线台,以及XY双轴的平面气浮产品等。$ s, j w. _3 o0 d g
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上银科技(中国)有限公司:提供晶圆装卸机Load Port HLP系列,可共享8吋与12吋产品加载载出。. ~5 T/ F) H: {1 f
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上海大族富创得科技股份有限公司:提供EFEM设备,包括圆装载系统(Loadport)、晶圆运输机器人(Robot)和晶圆对准器(Aligner)三大部件。
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苏州矽格纳科技有限公司:提供Wafer Aligner晶圆寻边器、Wafer Transfer晶圆转换器等产品。 |