Festo ISV 真空阀，内部结构是弹簧加浮子的结构。真空系统初始运行时，洁净度较好，此时可以保证系统真空度和流量。
但运行一段时间后，环境中的杂质会导致浮子表面和密封位置表面出现粘附杂质，从而影响密封效果，进而导致系统真空度降低。

如果可以替换，建议使用PIAB的piSAVE膜片阀：



膜片阀使用时，有物料吸附情况下膜片打开，无物料吸附情况下背压关闭膜片（系统微漏）。

可能灰尘颗粒进入到真空逻辑阀中没有拍出，影响了性能。在吸盘未吸到产品时，真空逻辑阀会吸入空气，积累的多了，可能就有衰减。