晶圆机器人的末端执行器可以,就是个铁片开了气槽,可以找找锐洁的网站看看 |
光伏镀膜设备上使用,江松,罗伯,中电二所……都有看到过 |
开眼界了 |
之前有做过,不行做不好,后来可以买现成的,, |
好像没标准的,都是根据使用情况定制 |
好的,谢谢各位老哥 |
会飞的鱼YF 发表于 2023-6-7 14:27 半导体行业,晶圆搬运机械结构。真空吸附,同时搬运多片晶圆。太阳能光伏设备也常见。 |
会飞的鱼YF 发表于 2023-6-7 14:27 你都说到晶圆了,那就去搜一下晶圆搬运机器人。 |
看着很像啊,我的需求只要把硅片或者晶圆从窄缝里面取出来。你这个叫什么? |
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