一路向北ck 发表于 2022-5-25 09:18
之前我设计一台设备，用的是NewWay的标准空气轴承块（多孔材料），这种空气轴承块需要用胶粘结，对装配要求 ...

单独从图片上无法准确判断采用何种气浮轴承。如果单纯重复定位精度0.1~0.3um，两种轴承其实都可以实现，加工和装配工艺是一方面，楼上说的温度补偿也是非常重要的一点，还有测量环境，材料选择，光栅尺的选择，控制算法，需要多方面考虑。QQ：564384682

研发三坐标，有共通之处。

1027726686 发表于 2022-5-25 10:44
这种微型气浮平台确实用直线电机更好一些，直线电机建议用无铁芯，光栅尺分辨率根据速度匹配，环境温度需要 ...

感谢分享！
你是做运动平台这块的吗？

这种微型气浮平台确实用直线电机更好一些，直线电机建议用无铁芯，光栅尺分辨率根据速度匹配，环境温度需要控制的很好建议增加温补，不然影响精度。材料尽可能统一化，传动及光栅尺的位置尽量符合阿贝原则。

没运气的小男孩 发表于 2022-5-24 21:28
在之前的项目中接触过一些，谈不上什么经验。一般这种气浮台采用直线电机驱动，对环境和气源有一定要求；承 ...

感谢回复！
多孔材料的机台我设计过一台，精度没达到预期。
目前想了解一下小孔节流的方案，想具体请教一下，能否留个联系方式。

大白小白 发表于 2022-5-24 20:57
lz先说说自己的理解。

感谢回复！我的经验如下

之前我设计一台设备，用的是NewWay的标准空气轴承块（多孔材料），这种空气轴承块需要用胶粘结，对装配要求较高，第一次做出来的精度不高，达不到同行做出来的重复定位精度0.1-0.3um。
且分析我一楼图片的这种单轴的机台结构比较紧凑，看着不像用的空气轴承块。
猜测用的小孔节流的方案，想请教一下有没有这方面的经验可以交流分享的

在之前的项目中接触过一些，谈不上什么经验。一般这种气浮台采用直线电机驱动，对环境和气源有一定要求；承载能力可以按照2kg/cm^2估算；气膜厚度一般控制在10um左右，气膜刚度一般通过增加预载的方式来调整；节流孔通常有小孔节流和多孔材料两种；国外品牌Aerotech、Newway等。楼主如果有详细需求可以具体探讨一下。

lz先说说自己的理解。