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标题: 光栅尺的原理是什么?怎么选择?供应商都没讲明白,6年了我第一次听懂 [打印本页]

作者: 罗罗日记    时间: 2019-8-12 00:02
标题: 光栅尺的原理是什么?怎么选择?供应商都没讲明白,6年了我第一次听懂
光栅尺的原理是什么?
这个问题很多次闪现在我的脑海中,也多次百度,但是都解释得不太清楚,或者一点都不形象,很难理解。
因为最近的项目上用到了1D Plus光栅尺(后续我会专门写写这种光栅尺的应用),我又想起了这个基本的问题,这次,我通过多方的资源,对光栅尺,比以前有了更多的认识。
下面,我用对话的方式,分享一下。
罗罗,我们很多运动平台,都会用到光栅尺,用来做闭环控制,我想问一下,光栅尺的原理的是什么?
光栅尺啊,简单理解就是一把尺子。
打个比方,游标卡尺都用过吧,再或者卷尺用过吧,尺子上面有刻度,这些刻度作为基准,你只需要把要测的物件,和卡尺上的刻度做比较,就可以用来衡量长度、大小、深度等信息。
同样地,光栅尺上也有“刻度”,这种刻度叫光栅,是通过光刻刻在尺子上的,只不过,它不是通过人眼来读取信息,而是通过配套的读数头,来读取位置信息。
你的比喻,我明白了,但是实际原理是不是要复杂得多?
没错。实际原理确实复杂很多:光栅是在玻璃或钢带尺上,制作的一系列条纹和狭缝,一个条纹和一个狭缝的宽度称为栅距,常见栅距20um。
读数头每扫描一个栅距,就产生一个正弦波信号周期,此信号再通过一个电子电路进行细分(读数头内置的或者外部细分盒),比如5,10,50,100倍的细分,所以可以达到很高的分辨率。
比如,一个20um栅距,经过50倍细分,那一个周期就是0.4um,这就是厂商说的分辨率
我有点明白了。不过我还想问一下:读数头怎么可以扫描光栅读取数据呢?
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如上图,读数头中有和尺体栅距一样的指示光栅(Scanning reticle),并且读数头中本身有LED光源,当读数头相对于光栅尺(Scale)移动时,LED光在经过了聚焦镜后(Condenser lens),照射到光栅尺上,然后光通过光栅狭缝,衍射到读数头的光电探测器上(Photocells),这样就在探测器平面上,产生了明暗相间的正弦干涉条纹。
接着,探测器把这些条纹,转换成正弦波变化的电信号,再经过电路的放大和整形后,得到两个相位差90度的正弦波,或方波信号A和B。

正弦波或方波的周期数,与移动距离成正比。尺体正向移动时,A信号超前B信号90度,尺体反向移动时,A信号滞后B信号90度。
如果转换成方波信号,做4倍频细分,一个周期里有4个上升沿,这个时候的分辨率只对应着一个上升沿,也就是1/4周期(脉冲)。

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需要注意的是,实际情况,光电探测器和LED在光栅尺的同一侧,都集成在读数头中。当光照射到光栅尺后,有一部分光会反射回去,然后通过聚焦镜,照射回光电探测器,形成电信号。

我明白光栅尺的原理了。
那为什么不直接用卡尺测量呢?
你真调皮,一般卡尺只能人眼读数,怎么把你读到的数据,传送到机器运动轴呢,就更不用说位置没有走对时,如何去反馈做校正了。就算你用能够输出读数的卡尺,精度也没有光栅尺的高嘛。
那一般光栅尺的精度可以达到多少?
±15μm,±5μm,±3μm,±1μm都有。
需要注意的是,这里说的精度,是光栅尺的制造误差,指每走1m实际可能的误差,而如果小距离行走,误差会更小,比如±0.275μm/10mm,±0.750μm/50mm,就是说运动10mm和50mm可能产生的误差分别是±0.275μm和±0.750μm,这是光栅的本身制造精度,也是选择光栅尺的一个重要参考。
比如,我们经常希望一个轴的定位精度是±3um/100mm或者±5um/100mm之类的,那么选择光栅尺的时候,首先,它的精度就要比这个要求高,比如±0.5um/100mm或者±1um/100mm。
另外,这里±1um/100mm并不能推导出±10um/1000mm,因为这里没有线性关系,往往光栅尺本身,会标注一两个短行程误差。比如精度±10um/m,往往100mm内的误差会小于±1um。
当然,读数头在细分信号的时候,也会引入误差,叫做差分误差,不过这个误差很小。比如一根光栅尺,栅距20um,分辨率为0.1um,周期误差(电子细分误差SDE)±0.15um。指的是栅距为20um的光栅,经过200倍细分,分辨率是20/200=0.1um,在这20um的栅距内,因为系统信号处理带来的误差是±0.15um。
好的,我知道了。
不过,我还想知道,光栅尺的测量精度还与哪些因素有关?
通常还和导轨的精度、结构刚性、光栅尺和末端点的距离有关系,对温度敏感的系统,还和环境温度及光栅尺附近热源有很大关系。
通常导轨有直线度和平行度误差,读数头只能读取到光栅尺位置的信息,而我们关心的位置通常不是光栅尺位置,而是结构上功能点的位置,也就是存在阿贝误差。
结构刚性,光栅尺和末端点的距离都会影响阿贝误差。
温度的上升和下降,会导致光栅尺的热膨胀,也会引入误差,因为基准变化了,读数头会认为是光栅尺有一个微小运动。
光栅尺栅距这么小,那刻度是怎么刻上去的?光栅尺尺子一般都是哪些材料?
上面已经提到了,光栅一般刻在玻璃或钢带基体上,玻璃一般用于短行程尺子,大长度尺子,比如10米、30米,用钢带作为基体。
至于说栅距怎么刻上去的,前面也说了,是用光刻的原理刻上去的。
那光刻是个什么东西?我不是很理解,你能解释一下吗?
好吧,我来打个比方。
比如说,你看集成电路板,上面不是有一条一条金属线么?
那个线不是画上去的,是整个刷一层铜到硅板上,然后上面刷一层蜡,然后你用刀子把没有导线的部分的蜡“刻”下去,然后把这块板子扔到腐蚀液里,没有蜡覆盖的地方就会被腐蚀掉,然后你把它拿出来,集成电路板就做好了。
嗯,有点意思,你继续说吧,光栅刻线怎么做出来的。
做光栅尺的时候呢,也是这个样子,但是光栅尺上的栅距非常非常小,间距是微米级别的,已经没有任何物理的刀子可以去刻出来了,这个时候我们就用“光刻”了。
因为光可以被分的很纤细的,光刻是在被刻材料表面铺一层感光膜,然后用光去照它,被光照到的地方,感光膜就会被“烧掉”,然后这个时候你用一个上面画着刻线的“纸片”,去挡一下光,这样就把光栅要保留的地方留下来了,然后扔到对应的液体里一泡,光栅尺也就做好了。
好的,我终于明白了。
罗罗,我还有一个问题。
增量式光栅尺和绝对式光栅尺有什么区别?分别用于什么场合?

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增量式光栅由周期性刻线组成。位置信息的读取需要参考点,通过和参考点的对比,来计算移动平台所在的位置。
由于必须用绝对参考点确定位置值,因此增量光栅尺上,还刻有一个或多个参考点。由参考点确定的位置值,可以精确到一个信号周期,也就是分辨率。绝大多数场合,都使用这种光栅尺,因为它比绝对式光栅尺便宜。
而绝对式光栅,绝对位置信息来自光栅码盘,它由一系列刻在尺子上的绝对码组成。所以,编码器通电时,就可立即得到位置值,并随时供后续信号电路读取,不用移动轴,执行参考点回零操作。
因为回零会浪费一定时间,如果机器有多个轴,那么回零循环可能变得既复杂又耗时。这种情况下,使用绝对式光栅尺是有利的。
另外,从速度和精度方面考虑,增量式光栅的最大扫描速度,取决于接收电子装置的最大输入频率 (MHz) 和所需的分辨率。但是,由于接收电子装置的最大频率已固定,所以提高分辨率将导致最大速度相应降低,反之亦然。
而绝对式光栅,不会受到这种情况的影响,可确保高速和高分辨率运行。这是因为位置根据需求和使用串行通信确定。绝对式光栅最典型的应用,是表面贴装技术 (SMT) 行业中的贴片机,在该行业中,同时提高定位速度和精度,是永远追求的目标。
好的,明白了。
一般根据哪些数据去选择合适的光栅尺呢?
第一,  是精度。
第二,  分辨率。
第三,行程。
第四,最大检测速度。
第五,电接口及电线长度。
第六,安装方式及安装空间。
第七,抗振动性能。
第八,价格。绝对式光栅尺一般贵20%。
一般来说,精度和分辨率是我们选择光栅尺的首要因素。
那我想问了,如何根据定位精度,或者是重复定位精度要求,来选择光栅尺?
这个,我举个例子吧。
比如,要做一个行程100mm,系统定位精度是±0.01mm(±10um)的移动平台,我们可以选择行程是120mm,精度是±0.5um/1m,分辨率是0.02/10=0.002mm的光栅尺。
这样,行程有20mm的余量,可以用于做硬件保护,而光栅尺本身的精度±0.5um也很常见。
关于分辨率,之所以取定位精度的1/10来选择分辨率,是因为存在控制误差,通常在±10cnt,这里所说的1cnt,是指的,在光栅尺本身分辨率基础之上,做了细分处理之后的分辨率,通常有4倍或者8倍细分。
比如4倍细分,那么上面分辨率为0.002mm的光栅尺,分辨率将达到0.002mm/4=0.5um。±10cnt也就是±5um,留了一倍的余量,这个主要考虑,系统还存在机械误差,比如传动系统,结构刚性等,这些因素也会吃掉一部分精度。当然这些是几何误差的范畴,可以通过测量,获得误差曲线,进行一部分的补偿,但是,还是有不一部分动态误差,无法补偿。
另外,很多时候,我们并不关心绝对定位精度,而只关心重复定位精度。一般来说,系统的重复定位精度的数值为定位精度的1/2~1/3,最多不会超过一个数量级,即1/10。比如,此例子中,一般来说重复定位精度在±0.01mm/2~±0.01mm/10=±0.005mm~±0.001mm之间。
当然,还有一点,系统的重复定位精度,一般介于分辨率和定位精度之间。
好了,关于光栅尺的选择,我就说这么多吧。
好的,罗罗,我可以再问最后一个问题吗?
你问题真多,说吧。
光栅尺的安装最需要注意的地方是什么?说一两点就可以了。
第一,我觉得需要预留好调整空间吧,因为很多时候空间不足,不好调整读数头,造成调试花太多时间,维护也很麻烦。安装后必须进行精确调整,根据指示灯的颜色来判断调整好坏。
另外,一般光栅尺的安装面,要和导轨面保持一定的平行度,比如0.1mm,这个要求,往往比安装的摇摆平行度要求高一倍,比如摇摆平行度要求0.2mm。
好的,我明白了,感谢你的回答。
客气了。


作者: DianGongN    时间: 2019-8-12 07:34
通俗易懂,LZ总结的不错。

关于光栅尺长度,和LZ讨论一下。
我的经验是100mm的移动平台,就选100mm的光栅尺,选长了没必要,可能没有安装空间。
100mm的光栅尺,极限长度105mm以上,做限位保护足够了。
作者: 277741987    时间: 2019-8-12 07:57
光栅尺简单地说就是线性编码器。
作者: 3983596    时间: 2019-8-12 07:58
学习了,感谢分享
作者: 罗罗日记    时间: 2019-8-12 08:12
|DianGongN发表于 08-12 07:34通俗易懂,LZ总结的不错。<br>
<br>
关于光栅尺长度,和LZ讨论一下。<br>
我的经验是100mm的移动平台,就选100mm的光栅尺,选长了没必要,可能没有安装空间。<br>
100mm的光栅尺,极限长度105mm以上,做限位保护足够了。
是的,理论上是你说的这样,如果空间紧张,测量长度比行程多几个毫米就可以了。

我再补充一句,这里所说的长度,指的是实际可用长度,而不是光栅尺的全长,因为全长都会在可测量长度基础上加一个值,用于安装固定。

不同的厂商全长不一样,比如海德汉,最典型的是ML+10,ML+28,ML+38。这里的ML是测量长度,Measuring length
作者: 罗罗日记    时间: 2019-8-12 08:13
|277741987发表于 08-12 07:57光栅尺简单地说就是线性编码器。
是的,老铁
作者: 罗罗日记    时间: 2019-8-12 08:14
|3983596发表于 08-12 07:58学习了,感谢分享
感谢老铁来顶帖
作者: DianGongN    时间: 2019-8-12 08:25
本帖最后由 DianGongN 于 2019-8-12 08:32 编辑
罗罗日记 发表于 2019-8-12 08:12
是的,理论上是你说的这样,如果空间紧张,测量长度比行程多几个毫米就可以了。

我再补充一句,这里所说的 ...

100mm的光栅尺,实际可用长度大于100mm。
通常,增加长度是没有必要的。
我的测量平台:x轴800mm y轴50mm z轴50mm;选用增量式光栅尺800,50,50。
实际可用测量空间,稍大于800*50*50。平台说明书注明空间800*50*50。限位齐全。
800的光栅尺,在平台中,测程做到805没有问题。但是说明书上面依然标注800。

绝对光栅尺没用过,也许要加长?



作者: 柳建凯    时间: 2019-8-12 14:13
学习了
作者: 罗罗日记    时间: 2019-8-12 15:06
|柳建凯发表于 08-12 14:13学习了
老铁,你好
作者: 大白小白    时间: 2019-8-12 17:33
目前常见有哪些品牌,国产有哪些?谢谢
作者: 罗罗日记    时间: 2019-8-12 20:43
|大白小白发表于 08-12 17:33目前常见有哪些品牌,国产有哪些?谢谢
我们一般用海德汉或者雷尼绍,我最近了解了发格,国产的品牌不太清楚,没用过
作者: 合富源    时间: 2019-8-12 20:48
学习了,谢谢
作者: 未来第一站    时间: 2019-8-12 21:46
学习了。
作者: 佛山放手自动化    时间: 2019-8-13 09:26
楼主费心了
作者: 罗罗日记    时间: 2019-8-13 11:57
|佛山放手自动化发表于 08-13 09:26楼主费心了
老铁你好,欢迎来关注,我公号同名
作者: 瑞香    时间: 2019-8-23 10:28
讲的很好
作者: 罗罗日记    时间: 2019-8-23 10:41
|瑞香发表于 08-23 10:28讲的很好
感谢老铁的支持!你的支持,是我继续写下去的动力。

打个广告,公号:罗罗日记。

欢迎关注,一起做朋友。
作者: 心殇yang    时间: 2019-8-25 13:28
干货,收藏谢谢楼主的分享
作者: 罗罗日记    时间: 2019-8-25 13:50
|心殇yang发表于 08-25 13:28干货,收藏谢谢楼主的分享
感谢老铁支持
作者: btganzhe    时间: 2019-8-26 21:48
学习了,谢谢楼主分享

作者: 罗罗日记    时间: 2019-8-26 22:21
|btganzhe发表于 08-26 21:48学习了,谢谢楼主分享<br>
感谢老铁来看帖
作者: 84151341    时间: 2019-8-27 09:29
讲得仔细
作者: 罗罗日记    时间: 2019-8-27 09:50
|84151341发表于 08-27 09:29讲得仔细<img class="emotion" src="//www.szfco.com/static/image/smiley/default/smile.gif" smilieid="1 border=" 0"="" alt="">
老铁,你终于来了!
作者: wn464574401    时间: 2019-8-28 17:00
关于光栅尺原理,莫尔条纹怎么没说?
作者: 罗罗日记    时间: 2019-8-28 22:37
|wn464574401发表于 08-28 17:00关于光栅尺原理,莫尔条纹怎么没说?
其实就是干涉,文中有说的
作者: siaoma3160    时间: 2019-8-29 09:04
赞!

作者: LION_CTPJT    时间: 2019-8-29 09:55
长知识了,感谢分享
作者: 罗罗日记    时间: 2019-8-29 11:54
|siaoma3160发表于 08-29 09:04赞!<br>
老铁,你好!
作者: 罗罗日记    时间: 2019-8-29 11:54
|LION_CTPJT发表于 08-29 09:55长知识了,感谢分享
老铁,你好!
作者: 孤鹰GE    时间: 2019-10-24 17:07
学习
作者: 看花切莫放杯闲    时间: 2019-12-23 16:07
通常还和导轨的精度、结构刚性、光栅尺和末端点的距离有关系,对温度敏感的系统,还和环境温度及光栅尺附近热源有很大关系。
大佬,,有几点想请教一下:1.模组的定位精度是光栅尺精度影响比较大还是其他因素,比如机加件精度,导轨精度,结构刚性等?2.是不是满足编码器的安装手册中的安装精度(俯仰公差,滚摆公差,扭摆公差)或者说编码器灯色显示最佳安装颜色就可以,在此基础上提高硬件的机械精度是否可以进一步提高模组的定位精度?3.对于直线电机来说,直线电机的本体是否也会对模组的定位精度产生很大影响?
作者: hj1230    时间: 2019-12-29 15:48
厉害了,感谢分享
作者: 罗罗日记    时间: 2019-12-29 16:23
|hj1230发表于 12-29 15:48厉害了,感谢分享
感谢老铁支持
作者: mingchundong    时间: 2019-12-30 10:30
实用!

作者: 罗罗日记    时间: 2019-12-30 11:29
|mingchundong发表于 12-30 10:30实用!<br>
感谢老铁支持
作者: 机械学徒工2    时间: 2020-7-29 22:10
厉害
作者: wlj0202    时间: 2020-7-30 10:17
学习了
作者: 罗罗日记    时间: 2020-7-31 19:40
|wlj0202发表于 07-30 10:17学习了
感谢支持
作者: zl-zyq    时间: 2024-1-18 12:13
学习了 感谢感谢




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