《真空技术》PDF

la999

真空技术
0 u3 Q9 V. S  c( p作者:王晓冬 等编著
出版社：冶金工业出版社
原价：50
出版日期：2006-9-1
ISBN：7502435719
$ P' j0 G/ {& J字数：730000
印次：1
( v5 a9 j0 V$ T0 g版次：1
4 `8 ]" C  u# ^* {/ Y! x& d( g; Q% S! s
% T* E* A* I" F内容提要
$ E. G/ ?. ]' z8 z* K9 @$ K! a; }本书系统地介绍了真空技术的基础理论、真空获得设备、真空测量仪表、检漏技术、真空系统设计的原理和方法。主要内容包括：稀薄气体分子运动理论、吸附与脱附、真空中的电现象、真空中的气体流动、真空泵的分类与性能、容积式真空泵、动量传递式真空泵、气体捕集式真空泵、真空测量、真空检漏、真空系统的组成、真空系统元件及连接、真空系统中常用材料和真空卫生、真空系统的设计计算等。本书既注重真空技术中的知识体系，又反映真空技术中的最新发展，具有很强的针对性和实用性。 本书可作为高等院校真空技术与设备、过程设备与控制工程、材料科学与工程、物理等相关专业本科生、研究生的学习教材，也可供真空技术应用、真空设备制造与使用单位的工程技术人员参考。
( C0 p( O8 a, p* F' k
目录
0 a, M+ |  t6 I5 ]$ n1 绪论
1.1 何为真空
3 L. y7 ^0 G/ Y1.2 真空度的表征及真空区域的划分
1.3 真空技术的历史回顾
1.4 不同真空状态下的真空工艺技术
' z/ f  B1 l0 M% ]1.5 真空技术的应用领域
3 a5 k7 |  v+ {; }$ g2 稀薄气体分子运动理论
2.1 气体在平衡状态下的物理特性
; u/ K: @) v" n& T3 w2.2 气体的迁移过程
2.3 蒸发和凝结
2 q# [5 w: X& ^8 R; l3 吸附与脱附
3.1 吸附现象及吸附机理
3.2 吸附和脱附过程的描述
( r. d9 V% I; v6 z3 H3.3 溶解和渗透
, s; n- O" }! E3 g# U7 ~2 D  f4 真空中的电现象
% U& v2 I3 ~4 j& T% z1 ^4.1 电子发射
2 ?2 `9 e* L& b4.2 气体放电
, e2 c  Q) }" W0 X5 真空中的气体流动
3 t+ R: ?, z' r; ~  f6 h( N5.1 气体流动状态及其判别
5.2 气体的流量和管道流导
5.3 简单管道的流导计算
6 真空泵的分类和性能
6.1 真空泵的分类
/ K' N7 U* E4 J5 a* v7 J6.2 真空泵性能的表示法
7 g3 q+ W' D; q1 M% E  j# t6.3 真空泵的用途及使用范围
0 G% l. G6 P- N: z4 \6.4 真空泵的型号及规格表示法
7 容积式真空泵
7.1 液环真空泵
3 b9 F  K) O9 |2 }7.2 往复式真空泵
( J( Y- g3 s' W- B7.3 油封机械泵
1 @' ~/ C( T# v( k+ V7.4 罗茨真空泵
7.5 干式真空泵
1 u( b$ X( A( r( n7 u8 动量传递式真空泵
, a$ f: l; E1 O+ G/ S: w0 u9 气体捕集式真空泵
10 真空测量
/ F& w; u5 z% |! j6 ^8 o11 真空检漏
" k" q1 |2 k9 X& P, `3 c' J12 真空系统的组成
' @9 A8 _9 T$ I$ }0 ]13 真空系统元件及连接
14 真空系统中常用材料和真空卫生
; H4 m; Y+ H7 c0 x15 真空系统的设计计算
0 g# g& o5 O+ ]7 v8 i参考文献

[ 本帖最后由 la999 于 2008-6-15 11:57 编辑 ]

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1.对检漏方法的一般要求
+ e! ]+ C4 S: ?# A( f! ?7 U( C5 E（1）检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；
（2）反应时间短，可以提高工作效率；
. F. r/ @6 ~* s% i' r7 O（3）能定位、定量，即不仅能够找出漏孔的位置，还能确定漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；
（4）能无损检漏，不使被检设备受到损坏和污染；
# v& e3 [5 I5 E$ q6 U' x（5）稳定性好，即保证足够长时间内灵敏度稳定可靠；
3 @0 k& B( H' G1 `! P  }（6）所用“示漏气体”在空气中含量低、无毒、不腐蚀零件；
（7）检漏范围大，从大漏孔到小漏孔都能检测，以减少检漏设备的数量和费用；
$ B$ u" f9 A: n（8）检漏时应洁净无油，满足一些特殊要求。
. B$ a( D* z9 L6 ]" ~5 l/ q2.选择检漏方法的原则
（1）主要根据被检漏设备的允许漏率为依据，由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合，为找到一个单个漏孔，所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1～2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11W，而必须选用的检漏灵敏度为10-12～10-13W；
# [0 T& i: Y* t/ e( ?（2）根据具体被检对象，所用方法简便易行、经济实用。
( K# t# Y$ c9 p! [$ A4 i! ?! b. g2 f3.检漏方法的分类
5 B, o6 z. e! \5 ?) V按被检容器所处的状态可分为两大类，即加压检漏法和真空检漏法。
: o8 I' z3 Q) O5 d5 r3 x  }（1）加压检漏法。在被检容器内充入一定压力的气体（称试验气体或者探漏气体）或液体，当容器上存在漏孔时，气体（或液体）便从漏孔中逸出，从哪里逸出，逸出量的多少等，就可判断有无漏孔存在、漏孔位置和大小。属于此类检漏方法有：
水压法：将清洁的水压入被检容器中，一般水压在2～3个大气压左右，观察容器外壁有无水珠出现，根据水珠出现的位置大小和快慢，来确定漏孔位置和估计漏气量的大小。
气压法：将试验气体（空气或其他气体）压入被检容器，在外面检查有无气体逸出，具体方法有：火焰、气泡指示法（水槽法、皂膜法）；氨检漏法；卤素检漏仪和氨质谱仪吸嘴法和放射性同位素法。其中卤素检漏法是，金属铂在高温（常用850～950℃）下产生正离子发射（主要是碱金属离子），这种发射遇到卤素气体时急剧增加，依据这个现象可以制成一种检漏仪器，即卤素检漏仪。
铂的离子发射现象被设置在一个探头中，探头是一支二极电子管结构，加热丝、阳极及不锈钢阴极组成一间热式二极管，后部安装吸气风扇，使用时不断吸进气体，工作时二极管的阳极由灯丝加热到850～950℃，阴极对阳极加有250V负电压并收集正离子，离子电流由电子电路放大后，用仪表指示，考虑到检漏时无暇观察仪表指示
/ y; ~& r' B  {# n示漏气体多用氯的卤化物，如氟利昂、氯仿、四氯化碳等，其中以氟利昂无毒、不可燃、蒸汽压力高、灵敏度高被广泛应用。检漏时，卤素气体充于被检件内，用外探头在外部
2 j8 ]. U7 C7 `3 `寻找漏孔。这种方法可检出10-9 Pa·m3/s的漏孔，工业产品一般为10-6～10-7Pa·m3/s。
（2）真空检漏法。将被检容器内部抽空后，再把试验物质施于容器外表可疑位置。如有漏孔，试验物质便通过漏孔
  j& \" f6 @3 M0 u进入容器，通过一些方法或仪器指示出来，从而可判断出漏孔的位置和大小。属于此类的方法有：静态升压法；放电管法；真空计法；氢-钯法；离子泵法；高频火花检漏法；卤素检漏法；质谱检漏法。其中离子泵检漏法是，溅射离子泵的离子流大小可反映真空系统真空度的高低，因此，类似于电离真空计的方法，用离子泵的电流指示可对系统或被抽容器进行检漏。这也是一种既简单又灵敏的检漏方法。

lthy007

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